185592. lajstromszámú szabadalom • Berendezés alakváltozás mérésére
185592 fáziskülönbség esetleges egész számú fázisciklusai miatt adódik és erre a célra a 28 első és a 43 harmadik jelölés közötti Iu távolságot lehet kihasználni. Ha ismeretes, hogy a 27 vizsgálandó tárgy elemzendő s relatív alakváltozása nem lép túl egy meghatározott értéket, a (6) képlet szerint, hazl(ö$2n, az 9max összefüggés érvényes. Ennek megfelelően a 22 első és a 41 harmadik fotodetektor villamos jelei közötti A<pl3 fáziskülönbség megváltozását az (5) képlet szerint határozhatjuk meg, amely ebben az esetben a A<P\.i — >1,3^ 2 K alakot jelöli. A fáziskülönbség megváltozása a 22 első és a 23 második fotodetektor villamos jelei között, amit A (Pt, 2 jelöl, ebben az esetben a következő módon írható fel: A<P\,i = "~pli,2 = 27tN + <Pi,2, (9) ahol N — a fáziséi klusok egy egész száma és <p,w 2— a 9 elektronikus fázismérővel megállapított fáziskülönbség, ahol <pXi 2 értéke 0 és 2n között van. Ha feltételezzük, hogy a 27 vizsgálandó tárgy alakváltozása az 1,2 szakaszon nem egyenletes, a A<p!.2 __ ïl. 2-------------- ~~ J A<PXfi 'l.3 vagy a >1,2 2;rN + (P\t iÄ <Pi. j— • >U közelítő képletet használjuk. Ennek megfelelően N-re kerekítés után kapjuk a következő egész számot, amely: N=im[-Ér('a®i',i!t~’l’u) <l0) ahol int(Z) a Z változó egész részét jelző függvény. Ennek megfelelően a <pu és a A<px 3 mért értéke alapján a (10) képletnek megfelelően a fázisciklusok N száma és ezt kővetően a (9) képlet alapján a fáziskülönbség teljes zl^l2 megváltozása, s ebből kiindulva a 27 vizsgálandó tárgy 1,2 hosszúsággal jellemzett felületén bekövetkező e relatív alakváltozás a (6) képlet alapján meghatározható. Azt is meg kell jegyezni, hogy a hasznos optikai jel teljesítménye, ha lézerfényt alkalmazunk és azt a jelölésrendszer elemeire koncentráljuk, jelentősen megemelhető. Ebből a célból azonban az optikai rendszert bizonyos mértékig módosítani kell, hogy kimenetén két széles fénynyaláb helyett több 2 pár keskeny fénynyalábot kapjunk. A keskeny fénynyalábok párjainak száma a jelölések számának felel meg és ezeket úgy alakítjuk ki, hogy a fénynyalábok keresztezési tartományában az interferenciacsíkok szélessége azonos legyen. Ha a jelölések között viszonylag nagy a távolság, ebben az esetben a hasznos optikai jel teljesítményszíntje több nagyságrenddel megemelhető, aminek révén lehetővé válik a kicsi, akár a legfeljebb lmW teljesítményű lézerek, különösen He-Ne-lézerek alkalmazása. Az optikai rendszer megfelelő módosítása révén a találmány szerinti berendezés több fénynyaláb előállítására válik alkalamassá és egy második fényérzékeny egység bejuttatásával kétcsatornás berendezésként hozható létre, amelyben a vizsgált tárgyak felületi alakváltozásának mérése két egymásra merőleges irányban történhet. A csatornák megosztása a jelölésekről szórt fény polaritásának megfelelően történik. A vizsgált tárgy felületére ennek megfelelően egy második jelölésrendszert kell felvinni, amelyet az első rendszer jelöléseire merőlegesen elrendezett jelölésekből hozunk létre. Szabadalmi igénypontok 1. Berendezés alakváltozások mérésére, amely közös optikai tengely mentén elrendezett lézert és a lézer fényéből fénynyalábot létrehozó optikai rendszert, továbbá a mérendő alakváltozással jellemzett vizsgálandó tárgy felületére felvitt jelölésrendszerbe tartozó jelöléseken szórt fény interfernciája révén kialakuló interferenciaképet rögzítő regisztrálóegységet tartalmaz, azzal jellemezve, hogy a lézer (2) és a fénynyalábot (5, 6) létrehozó optikai rendszer (4) között a közös optikai tengelyen (1) elrendezett, a lézer (2) fényének frekvenciáját eltoló frekvencia modulátor (3) van beiktatva, valamint a regisztrálóegység első és második fotodetektort (22, 23) és ezek kimenetére csatlakoztatott elektronikus fázismérőt (9) tartalmazó fényérzékeny egységgel (8) van ellátva, ahol az első fotodetektor (22) a jelölésrendszerbe tartozó első jelöléssel (28), a második fotodetektor (23) a jelölésrendszerbe tartozó második jelöléssel (29) van optikai kapcsolatban. 2. Az 1. igénypont szerinti berendzés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a fényérzékeny egység (8) harmadik fotodetektorral (41) van ellátva, amely a jelölésrendszerbe tartozó harmadik jelöléssel (43) van optikai kapcsolatban, ahol a harmadik jelölés (43) az első jelöléstől (28) vagy második jelöléstől (29) olyan távolságra (Iu) van, amely mellett a harmadik jelöléssel (43) optikai kapcsolatban levő harmadik fotodetektor (41) és az első vagy második jelöléssel (28, 29) optikai kapcsolatban levő első vagy második fotodetektor (22, 23) villamos jeleinek fáziskülönbségeit jellemző változás 360° alatt van, továbbá a harmadik fotodetektor (41) és az első vagy második fotodetektor (22, 23) kimenetei átkapcsolón (44) keresztül vannak az elekronikus fázismérőre (9) csatlakoztatva. 2 rajz, 4 db ábra 7
