185592. lajstromszámú szabadalom • Berendezés alakváltozás mérésére

(19) HU MAGYAR

népköztArsasAg

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

SZABADALMI

LEÍRÁS

(22) A bejelentés napja: 82. 11. 29. (21) 3829/82

(41) (42) Közzététel napja: 1984. 05. 28. (45) A leírás megjelent: 1988. 10. 26.

Feltaláló(k): (72) (73)

(11)

185592

Nemzetközi osztály jelzet: (51) Int. Cl.4: G 01 B 11/16

Szabadalmi Tár. ' ^V^ULaJDONA^,

BYKOV Anatolij Prokopijevics, mérnök, Zhukovsky Moskovskoi oblasti, SU

<54) BERENDEZÉS ALAKVÁLTOZÁS MÉRÉSÉRE

(57) KIVONAT

A berendezés közös optikai tengely (1) mentén elrendezett lézert (2) és a lézer (2) fényéből fénynyalábot létrehozó optikai rendszert (4), továbbá alakváltozással jellemzett vizsgálandó tárgy (27) felületére felvitt jelölésrendszerbe tartozó jelöléseken (28, 29, 43) szórt fény interferenciája révén kialakuló interferenciaképet rögzítő regisztrálóegységet tartalmaz, amelynek lényege, hogy a lézer (2) és a fénynyalábot (5, 6) létrehozó optikai rendszer

(4) között a közös optikai tengelyen (1) elrendezett, a lézer (2) fényének frekvenciáját eltoló modulátor

(3) van beiktatva, valamint a regisztrálóegység első és második fotodetektort (22, 23) és ezek kimenetére csatlakoztatott elektronikus fázismérőt (9) tartalmazó fényérzékeny egységgel (8) van ellátva, ahol az első fotodetektor (22) a jelölésrendszerbe tartozó első jelöléssel (28), a második fotodetektor (23) a jelölésrendszerbe tartozó második jelöléssel (29) van optikai kapcsolatban. Az első és a második fotodetektor (22, 23) fáziskülönbségének változása során fellépő fázisciklusok egész számával kapcsolatos bizonytalanság elkerülése a találmány szerinti berendezés fényérzékeny egysége (8) harmadik fotodetektorral (41) van ellátva, amely a jelölésrendszerbe tartozó harmadik jelöléssel (43) van optikai kapcsolatban, ahol a harmadik jelölés (43) az első jelöléstől (28) vagy második jelöléstől (29) olyan távolságra (li.d van , amely mellett a

harmadik jelöléssel (43) optikai kapcsolatban levő harmadik fotodetektor (41) és az első vagy második jelöléssel (28, 29) optikai kapcsolatban levő első vagy második fotodetektor (22, 23) villamos jeleinek fáziskülönbségeit jellemző változása 360° alatt van, továbbá a harmadik fotodetektor (41) és az első vagy második fotodetektor (22, 23) kimenetei átkapcsolón (44) keresztül vannak az elektronikus fázismérőre (9) csatlakoztatva.