185465. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés elliptikus vetítőlámpa üvegtestek hidegtükrözésére
1 185 465 2 A találmány tárgya eljárás és berendezés elliptikus vetítőlámpa üvegtestek hidegtükrözésére, mely tiikrözési eljárást vákuumpárologtató berendezésekben végzik. A találmány megoldást tartalmaz mind a bevonási eljárás, mind a berendezés tökéletesítésére. A műszaki háttér ismertetése. Kisebb vákuumberendezésekben ismeretesek olyan hidegtükrözési eljárások és tartókonstrukciók, ahol az elliptikus vetítőlámpa reflektorának üvegtestét egy- vagy több tengelyű forgatás mellett vonják be a hidegtükröt alkotó vékonyréteg komponensekkel. A különböző több tengelyű (planetáris) konstrukciókat az elliptikus vetítőtest forgástengelye körüli egyenletes rétegvastagság biztosítására alkalmazzák. Ilyen tartókonstrukció található pl. a Híradástechnikai Kutató Intézet által gyártott EK 156 típusú bolygómozgású gőzölő berendezésben. Hasonló megoldás ismerhető meg a Varian 3119- S típusú berendezés leírásából is. A Balzers BAK 760 típusú vákuumgőzölő készülékben ugyancsak hasonló tartórendszert alkalmaznak. Ezeknek a berendezéseknek közös hátránya a bonyolult mechanikai felépítés. A Leybold-Heraeus cég A-1600 Q típusú berendezésében az elliptikus burák saját tengelyük körül is forognak. Ennek a megoldásnak az a hátránya, hogy a párologtatási ciklusok között a burákat darabonként kell behelyezni, mivel a tartórendszer nem cserélhető. Ez a művelet nagyon megnöveli a veszteségidőt. A megoldásnak további hátránya, hogy a saját tengely körüli forgató mechanizmus megvalósítása nagy helyigénnyel jár. Ennek következtében kisebb a berendezés hatásfoka. További hátrány, hogy az egyes burákat tarló mechanika fajlagos felülete rendkívül vagy. így a ki- és betöltési idő alatt klimatizáit körülmények között is nagymennyiségű vízgőz adszorbeálódik a mechanika alkatrészeire levált párologtatott anyagon. Ezáltal növekszik a szivattyúzási és gáztalanítási idő, s a párologtatás alatt esetleg felszabaduló vízgőz nagymértékben rontja a rétegek tapadását. A találmány célkitűzése olyan hordozószerkezet kialakítása, amely kiküszöböli a kettős fogatású, műszakilag bonyolult ún. planetáris rendszerek alkalmazását, s ugyanakkor maximális térkihasználás, s ezáltal az ismert megoldásokhoz képest kb. kétszeres befogadóképesség mellett minden üvegtesten egyenletes bevonateloszlást biztosít. A megoldás ismert felépítésű, függőleges hengerelrendezésű vákuumpárologtató berendezés egy tengely (a henger központi tengelye) körül forgatott üvegtest-tartószerkezetre vonatkozik, amelynek felépítését az ábrákon mutatjuk be. A tartószerkezet csonka kúppalástokkal közelíti meg a megfelelő geometriát. Az így kialakított tartórendszer esetében azonban a külső kúppalástokon elhelyezkedő elliptikus üvegtesteken a rétegegyenletesség csak rendkívül szűk szögtartományban biztosítható, amely már meghaladja az ilyen tartórendszerek szögtartási pontosságát. Ezért a javasolt megoldásunkban a külső kúppalástokat (sort) oly módon alakítottuk ki, hogy az billenő mozgást végez az ideálisnak tekintett beállítási szög körül. A billegtetés frekvenciája a tartórendszer forgássebességének megfelelően változtatható. A billegtetés történhet görgős, kényszerpályás megvezetéssel, csúszópályás megvezetéssel, vagy mágneses úton. Az általunk kidolgozott megoldásnál a billegtető erőt a nem mágnesezhető anyagból készült tartószerkezetre felrögzített mágnesezhető vasidomok és a recipiens falára felrögzített állandó mágnesek vagy elektromágnesek közötti mágneses kölcsönhatás hozza létre. A rögzített mágnes alatt elhaladva a vasidom közelít a mágneshez, megemeli a billegtetett szegmensdarab szélét — a szegmens felfelé billen — a mágnestől való eltávolodáskor pedig egy rugó alsó állásba hozza azt vissza. Az elektromágnes áramának változtatásával, illetve a maximális kibillenési távolságot határoló ütközők állításával szabályozni lehet a billegés amplitúdóját. A billegés frekvenciáját a tartószerkezetre felrögzített vasidomok számával változtatjuk, adott forgássebesség mellett. Ezzel a megoldással a planetáris rendszerekhez viszonyítva, azonos idő alatt kb. kétszeres mennyiségű elliptikus vetítőlámpa bura, vagy más hasonló geometriájú termék vonható be kívánt tulajdonságú optikai vékonyrétegrendszerrel, pl. hidegtükörrel. Összefoglalva: a találmány egyrészt olyan vákuumpárologtató eljárás, amelyet az jellemez, hogy párologtatás közben a tartószerkezet billenő szegmensei a tartószerkezet álló szegmenseihez viszonyítva függőleges irányú billegő mozgást végeznek. Találmányunk ugyanakkor kiterjed olyan vákuumpárologtató berendezésre, amely elliptikus vetítőlámpa üvegtestek hidegtükrözésére szolgál és amelyet az jellemez, hogy a tartószerkezet kúppalástokból felépített álló szegmensekből és billegő szegmensekből áll, a billegő szegmensek billegtető csapok segítségével kapcsolódnak az álló szegmensekhez, továbbá a billegő szegmensek billegő mozgását elektromágnes vagy megvezetőpálya biztosítja. A találmány tárgyát képező megoldást az alábbiakban részletesen ismertetjük a mellékelt ábrák alapján. Az ábrák felsorolása: 1. ábra: A vákuumrendszer és a találmány tárgyát képező tartószerkezet vázlatos rajza. 2. ábra: A tartószerkezet felülnézeti rajza 3. ábra: A tartórendszer oldalnézeti rajza a billegtető szerkezettel 4. ábra. Az állószegmens felülnézeti rajza 5. ábra: Az álló szegmens oldalnézeti rajza 6. ábra: A billegőszegmens felülnézeti rajza 7. ábra: A billegőszegmens oldalnézett rajza Az 1. ábrán mutatjuk be a találmány tárgyát képező tartórendszert egy 1600 mm átmérőjű vákuumpárologtató berendezésben, Az ábrán 1 a recipiens, 2 az optikai mérőrendszer mérőüvege, 3 a karakterisztikaszürő az érzékelővel, 4 a fotométer fényforrása a referenciaérzékelővel, 5 a párologtató források. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2
