184995. lajstromszámú szabadalom • Eljárás konverziós ernyő gyártására
5 184995 6 elérhetünk anélkül, hogy helyileg olyan égéstermékek képződjenek, amelyek szennyezhetnék a lecsapódó anyagot. A magas hőmérséklet miatt az anyag szemcséi gyorsan megolvadnak, a gyors áramlási sebesség és egyéb okok miatt pedig igen rövid idő alatt a hordozóra rakódnak. Ezáltal az anyagot sem a túlzott oxidáció, sem az elbomlás veszélye nem fenyegeti, tehát a már aktivált lumineszkáló anyagok is egyszerűen felhasználhatók. Ez a körülmény nem csak feleslegessé tesz egy műveletet, hanem az esetleges károsodástól vagy szennyeződéstől is megóvja mind a réteget, mind a hordozót a további kezelés alatt. Ha a lumineszkáló anyagot mikroszerkezetes felületű hordozóra vagy azon belül csapatjuk le, például az 1 380 186 sz. angol szabadalmi leírás alapján, akkor olyan repedéses szerkezetű konverziós ernyőt kapunk, amely meggátolja a sugárzás vagy a töltéshordozók oldalirányú szóródását. Egy előnyös kiviteli alak esetében a lumineszkáló ernyő hordozója fényvezető szálakból áll, amelyeknek belső tartományai, vagyis az ún. magjai a lumineszkáló réteg felöli oldalon maratás útján el vannak távolítva. Az ismert leválasztási eljárásokkal összehasonlítva a találmány szerinti eljárás a hordozó felületének mélyedéseit megfelelően kitölti még akkor is, ha azok harántirányban viszonylag keskenyek. A találmány szerinti eljárás segítségével gyártott sugárzásátalakító ernyők számos termékben alkalmazhatók, többek között például mint röntgenkép-erősítő ernyők a röntgendiagnosztikai berendezésekben. Ezekben a berendezésekben lévő ernyők arra szolgálnak, hogy a képet tartalmazó röntgen-sugárnyalábot a képminőség lehető legcsekélyebb rontása árán olyan sugárzássá alakítsák, amire az ernyő mögé helyezett filmlemez különösen érzékeny. A találmány szerinti eljárással készült ernyőket, pl. a 4 179 100 sz. USA szabadalmi leírásban közölt módon, előnyösen alkalmazhatjuk olyan röntgensugár-detektorokban, amelyekben egymástól kifejezetten független detektor elemek sorozatát kell kialakítani. A találmány szerinti ernyőket előnyösen használhatjuk katódsugárcsövekben is. Az utóbbiak tömeggyártása ezáltal jóval gyorsabbá és megbízhatóbbá válik, mert csökkennek a foszforrészecskéknek a csőben való leválásából eredő problémák, és az ilyen csöveknél szokásos hátsó fémbevonat közvetlenül a tömör foszforrétegre választható le egyetlen és ugyanazon művelet keretében. A speciális célokra szolgáló katódsugárcsövek, mint például az elektronmikroszkóp csövek, az oszcilloszkóp csövek és a képerősitőcsövek ernyői számára a csökkent rétegvastagságot biztosító tömör anyagleválasztás és a tökéletesebb hőelvezetés vonzó tulajdonságoknak számítanak, mert az ilyen réteget nagyobb helyi terhelésre lehet igénybevenni. Az elemi részecskék detektálására szolgáló mérőműszerekben, mint pl. a tömegspektrográfokban a szóbanforgó tömör rétegek öntartó tulajdonsága lehetővé teszi az érzékenység növelését és a cserélhető ernyők alkalmazását. A fotokonduktív tulajdonságú konverziós réteggel ellátott eszközök közé tartoznak például a szelénernyős röntgensugár-detektorok, amelyekben egy képet tartalmazó beeső röntgensugárnyaláb elektrografikus úton előbb töltésmintázattá majd rögzített képpé alakítható ; vagy a képfelvevőcsövek, amelyekben egy képhordozó sugárnyaláb előbb villamos potenciálmintázattá, majd videojellé alakul, ami egy monitoron ábrázolható. A találmány szerinti megoldás néhány előnyös kiviteli alakját a továbbiak során részletesen leírjuk, és közben az alábbi ábrákra hivatkozunk. Ezek közül az 1. ábra a találmány szerinti eljárás végrehajtására szolgáló plazmaíves készülék vázlatát, a 2. ábra a találmány szerinti röntgenkép-erősítő ernyő keresztmetszetét, a 3. ábra a találmány szerinti röntgenkép-erősítőcső tengelyirányú metszetét, a 4. ábra pedig a találmány szerinti száloptikai ernyő egyik fényvezetőszálát mutatja, amely részben lumineszkáló anyaggal van kitöltve. Az 1. ábrán a találmány szerinti konverziós ernyők plazmaszórással történő előállítására szolgáló készüléket mutatjuk be. A készülék 1 kamrájának falába egy első 3 és egy második 5 elektróda van illesztve. Ezek az elektródák a 7 olvasztótérben plazmakisülés létrehozására szolgálnak, és ebből a célból egy 9 feszültségforrás sarkaira vannak kapcsolva. A 13 tartályból porlasztott konverziós anyagot táplálunk be, a nyomásos 15 gáztartályból pedig gázt áramoltatunk a 16 keverőtérbe. A 18 gázáramba porlasztott konverziós anyagból álló keverék a 11 fúvókából kilépve keresztüláramlik a 7 olvasztótéren. A 13 tartályt elláthatjuk olyan eszközökkel, amelyek a nyers konverziós anyagot porrá alakítják. Célszerű olyan port előállítani, amelynek szemcsemérete viszonylag szűk határok között változik. Ha igen finom szemcsés porra van szükség, akkor ajánlatos folyasztóport is betáplálni, nehogy a szemcsék összetapadjanak a Van Der Waals-féle erők hatására. Ebből a célból a készülék ki van egészítve egy 17 edénnyel. Folyasztóporként például alumíniumoxidot vagy szilíciumdioxidot használhatunk. A por összetapadását a szemcsék villamos feltöltése útján is megakadályozhatjuk. A gázból és porból álló keverék viszonylag nagy sebességgel és pl. 100 kPa nyomással áramlik a plazmaív irányába. A plazmaív mögött egy 19 hordozó van elhelyezve, mégpedig célszerűen szabályozható távolságban. Amint a rajzon láthatjuk, a 19 hordozó egy 21 csúszkára van helyezve, amely egy 23 sínen végigtolható. A sínnek a plazmaívvel ellentétes végén egy 24 pajzsot találunk, mögötte pedig egy kiürítő eszköz van elhelyezve, amely egy 25 szűrőből és egy 27 szivattyúból áll. A példaképpen bemutatott készülék zárt kamrás típusú, amely csökkent nyomáson is működőképes, és amelyet a 3 839 618 sz. USA szabadalmi leírás részletesen ismertet. A leválasztandó anyagtól, valamint a kialakítandó réteggel szemben támasztott követelményektől függően más változat is szóba kerülhet. Például használhatunk nyitott kivitelűt, vagy pedig olyan két tolózárral ellátott készüléket, amelynek egyik oldalán berakhatjuk a hordozókat, a másik oldalán pedig kivehetjük a kész ernyőket. Nagyobb ernyők esetén a 21 csúszkát olyan mechanizmussal szerelhetjük fel, amely az anyagsugár irányára merőlegesen mozgatni tudja a hordozót. Annak érdekében, hogy homogén vagy pl. radiálisán változó vastagságú réteget tudjunk előállítani, célszerű a hordozót egy, az anyagsugár főirányával megegyező tengely körül forgathatóan elhelyezni. Nyilvánvaló, hogy csak az anyagsugár és a 19 hordozó relatív elmozdulása számít, tehát a szóróeszköz (11 fúvóka) mozgatása útján is ugyanazt az eredményt érhetjük el. A plazmakisülés a rajta átáramló anyagsugár szemcséit megolvasztja, úgyhogy ezek a szemcsék folyadék-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 4
