184978. lajstromszámú szabadalom • Kombinált maratási eljárás finomfelbontású mikroáramköri mintázatok kialakítására
(19) HU MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS dl) 184978 T SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY lllJll Nemzetközi osztályozás : A bejelentés napja: (22) 1981. XII. 30. (21) (3989/81) ' (51) NSZ03 H 01 L 21/302. ** Közzététel napja: (41) (42) 1984. V. 8. ‘h 0Í L 21/461 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: (45) 1987. VI. 30. szabadalmi Tár- % tulajdon^' Feltalálók : (72) Szabadalmas : (73) Andrási Andorné vegyész, 10%, Budapest MTA Központi Fizikai Kutató B. Vázsonyi Éva vegyészmérnök, 40%, Budapest Intézete, Budapest Szabó Imre fizikus, 40%, Budapest Zimmer György fizikus, 10%, Budapest (54) Kombinált maratási eljárás finomfelbontású mikroáramköri mintázatok kialakítására í (57) Kivonat A találmány tárgya kombinált maratási eljárás nagy felbontású mikroáramköri mintázatok kialakítására. A találmány szerinti kombinált maratási eljárás lénye- 5 ge, hogy egy aktív réteg maratását nedves kémiai és ionmaratási műveletekkel végezzük, homogén aktív réteg maratását az aktív réteg legalább 40%-ának eltávolítása után megszakítjuk, inhomogén aktív réteg és alréteg maratását a fajlagos anyagmennyiség változásakor, csők- 10 kenésekor, vagy a mintázat oldalfal meredekségének csökkenésekor megállítjuk, a mintázat kialakítását ionbombázásos maratással befejezzük. 2 A találmány szerinti kombinált maratási eljárás előnyei, hogy az elérhető falmeredekség jobb mint a nedves kémiai maratásnál, csökkenti az alámaratás mértékét, valamint a nedves kémiai maratás szelektivitásából adódó előnyöket egyesíti az íonmaratás anizotrópiájával. A találmány szerinti kombinált maratási eljárás előnyösen alkalmazható integrált áramkörök és mágneses buboréktárolók finom felbontású mintázatainak kialakítására különösen akkor, ha a maratandó vékonyrétegben mélységbeli összetétel inhomogenitás van jelen. 184978
