183865. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés mikronos és mikronfeletti alakzatok méretének és az alakzatok egymástól való távolságának nagypontosságú meghatározására
Djqpe 9 z\ ojqo'3 *W D 9 í\ Z\ V 91-VQ\ oiqo Zú H nlu a io d;£ozsn S98 £81
/
