183865. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés mikronos és mikronfeletti alakzatok méretének és az alakzatok egymástól való távolságának nagypontosságú meghatározására
1 183 865 2 nával a 14 elektromos képmegjelenítőre van kapcsolva, ez utóbbira jut még a 13 képfeldolgozó főegység kimenete is a C digitális csatornán keresztül. A találmány szerinti berendezés működése az 1. ábra alapján a következő: A 16 tárgyat a 15a transzmissziós vagy 15b reflexiós sugárforrással megvilágítva leképezzük a 12 elektromos képátalakító optikai bemenetére. Az így létrehozott kép megjelenik a 14 elektromos képmegjelenítőn, amelyet a kezelő az 1. ábrán látható formában észlel. A 14 elektromos képmegjelenítőn ezen kívül megjelenik még a 12 képfeldolgozó főegység által létrehozott, 14 elektromos képmegjelenítőn tetszőleges helyzetbe állítható V, FI és F2 mérővonal is, amelyekkel a kezelő kijelölheti a mérendő helyet és tartományt. A mérendő tartomány pontonkénti letapogatásával a 13 képfeldolgozó főegységben az egyes képpontok intenzitásának digitalizált értékeit állítjuk elő és tároljuk. Az 1. ábrán látható a tárolt intenzitásgörbe a kijelölt tartományban. A tárolás után a 13 képfeldolgozó főegység segítségével meghatározzuk az intenzitásgörbe első és második differenciálhányadosának segítségével a sötét—világos vagy világos—sötét átmenetek pontos helyét, majd ezek különbségéből kiszámítjuk az átmenetek közti távolságot. Ez a távolság a keresett méret. A találmány szerinti berendezés 12 elektromos képátalakítójának egy példakénti kiviteli alakja a 3. ábrán látható. Eszerint a 12 elektromos képátalakító 21 mikroszkópból és ennek optikai kimenetére illesztett 22 TV kamerából áll. A 21 mikroszkóp bemenetén levő 16 tárgyról a 22 TV kamera egyik kimenetéhez kötött A első információs csatornán és másik kimenetéhez csatlakoztatott B második információs csatornán jelenik meg a képinformáció. Az A első információs csatorna a további jelfeldolgozáshoz szükséges analóg és szinkronizáló jeleket, a B második információs csatorna az elektromos képmegjelenítőhöz szükséges összetett jelet tartalmazza. A találmány szerinti berendezés 13 képfeldolgozó főegységének egy példakénti kiviteli alakja a 4. ábrán látható. A 13 képfeldolgozó főegység láncbakapcsolt 31 analóg-digitál átalakítóból, 32 tároló egységből, 33 aritmetikai egységből és 35 megjelenítő egységből, valamint a 32 tároló egységgel és a 31 analóg-digitál átalakító bemenetével összekapcsolt 34 vonalkijelölő egységből áll. A 12 elektromos képátalakítóból érkező A első információs csatorna részét képező A1 képtartalaom jeleket a 31 analóg-digitál átalakító digitalizálja és továbbítja a D harmadik információs csatornán keresztül a 32 tároló adat beíró bemenetére. Az A első információs csatorna másik részét képező A2 szinkronizáló csatornán át a 34 vonalkijelölő egység bemenetére érkező szinkronjelek felhasználásával kezelői beavatkozással lehet kijelölni az 1. ábrán már feltüntetett V, FI és F2 mérővonalakat. A mérővonalak által behatárolt vonalszakasznak megfelelő képtartományban a 34 vonalkijelölő egység vezérlő kimenetén megjelenik az e vezérlőjel, adatkimenetén pedig az elektromos képmegjelenítő számára szükséges C digitális jel. A 32 tároló a bemenetére érkező D digitalizált intenzitás-értékeket az e engedélyező jel hatására tárolja, és a későbbiekben az E digitális csatornán juttatja a 33 aritmetikai egység bemenetére. A 33 aritmetikai egység a beérkező adatokból meghatározza a mérendő távolságot, és ennek értékét az F adatcsatornán továbbítja a 35 megjelenítőhöz, ahol az számértékként válik láthatóvá. Most tekintsük át a 32 tároló egy példakénti kiviteli alakja felépítését és működését az 5. ábra szerint. A 32 tároló a 32a címregiszterből és ennek párhuzamos H címkijelölő vonalaira kapcsolt 32b tároló részegységből, és~az~ezek működését engedélyező bemeneteire kapcsolt e vezérlőjelből áll. A 32a címregiszter H címkijelölő kimenete az A2 szinkronjelek hatására az e engedélyező jel által kijelölt tartományban kijelöli a 32b tároló részegység soron következő tárolórekeszeit, és az E digitális csatornán ezen rekeszek címét El jelként kiadja. A 32b táoló részegység az adatbemenetein levő D digitalizált intenzitásértéket tárolja ezen tárolórekeszekbe, majd a tárolás után - az e vezérlő jel megszűntével -*- megjeleníti a digitális csatornán az E2 párhuzamos adatkimeneteken. A találmány szerinti berendezés 33 aritmetikai egységének egy példakénti kiviteli alakja a 6. ábrán látható. Eszerint az egység láncbakapcsolt 33a átmeneti tárolóból és 33b különbségképző részegységből és a 33a átmeneti tároló tárolást engedélyező bemeneteire kapcsolt 330 inflexiós pont meghatározó részegységből áll. A 33c inflexiós pont meghatározó részegység a bemeneteire érkező E2 tárolt intenzitásjelek segítségével a 7. ábra szerint meghatározza a sötét-világos (illetve világos-sötét) átmeneteken az intenzitásgörbe első differenciálhányadosának szélsőértékeihez és a második differenciálhányados előjelváltásaihoz, tartozó raszterpontok helyeit, és ezen helyeken előállítja a szélsőérték jelet és előjelváltás jelet, melyek a b első és d második vezérlő kimeneten jutnak a 33a átmeneti tárolóba. A 33a átmeneti tároló a bemenetéin levő El jeleket az inflexiós pontok helyén a b és d jelek hatására tárolja, és az I második adatcsatornán továbbítja a 33b különbségképző egységre, amely ezután meghatározza a két tárolt érték különbségét és ezt az F adatcsatornán kiadja. A találmány szerinti berendezés 33c inflexiós pont meghatározó részegységének egy példakénti kiviteli alakja a 8. ábrán látható. Eszerint a 38 beégetett függvény - tároló a 36 szorzó áramkör első bemenetére kapcsolódik az L harmadik adatcsatornán, a 36 szorzó áramkör első kimenete a 37 szélsőérték meghatározóra, másik kimenete a 39 előjelváltás meghatározóra jut a J első és K második adatcsatornákon. A 36 szorzóegység második bemenetére jut az E2 digitalizált intenzitásérték. Az egység adott számú (tipikusan 9) intenzitásjel felhasználásával a 38 beégetett függvénytárolóban tárolt és az első differenciálhányados meghatározásához szükséges másodfokú polinom minden egyes tagjával beszorozza az adott számú (példánkban 9) intenzitásjelet, az eredményből - átlagolás után - adódó értékeket a 37 szélsőértékmeghatározó áramkörbe továbbítja a J első adatcsatornán. A 36 szorzó áramkör ezután a fenti intenzitás jeleket beszorozza a 38 beégetett függvénytárolóban tárolt, és a második differenciálhányados meghatározásához szükséges újabb másodfokú polinom minden egyes tagjával, és az eredményt — szintén átlagolás után — a 39 előjelváltás meghatározó áramkörbe juttatja a K második adatcsatornán. Ezután a 36 szorzó áramkör egy újabb, adott számú intenzitásjel felhasználásával megismétli a fenti folyamatot, ami így a teljes in tenzitásj el-tartományt felöleli. Az utolsó intenzitásjel csoport feldolgozása után a 37 szélsőérték meghatározó áramkör előállítja a szélsőérték jelet, a 39 előjelváltás meghatározó egység pedig az előjelváltás jelet, amelyek ab első és d második vezérlő-5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 3
