183604. lajstromszámú szabadalom • Diffúziós szivattyú oljacsapdája
1 183 604 2 A találmány olajdiffúziós szivattyúban kialakított olajcsapda, amely a szivattyúból történő olajvisszaáramlás megakadályozására szolgál. Az olajcsapdák általánosan használt, ismert eszközök a vákuumtechnikában. Hagyományosan külön egységként csatlakoztatják a diffúziós szivattyúk szívótorkához. Belsejükben hűtött felületeket helyeznek el olyan módon, hogy az olajgőzök útját megtöijék és az olaj a hűtött felületeken lecsapódjon. Az ismert elrendezések (pl. Balzers, Edwards, Leybold-Heraeus, Varian, Alcatel gyártmányok) megegyeznek abban, hogy a szivattyútestben csak a legfelső fokozat fúrókája felett alkalmaznak egy hűtött sapkát az olaj kondenzálására, s a vízzel, levegővel vagy termoelektromosan, illetve cseppfolyós nitrogénnel hűtött csapdát külön egységként szerelik a szivattyúhoz. A találmány szerinti elrendezés a hűtött sapka feletti vízhűtéses olajcsapdát beépíti a szivattyú házába, így azzal egybefüggő szerkezeti egységet képez a vákuumrendszerben. A csapda kondenzációs felületeit magába foglaló test (kondenzátor) a szivattyú vízhűtéses házának kissé megmagasított felső részébe illeszkedik, jó hőhatást biztosítva a kondenzátornak. Egy előnyös kivitelnél a kondenzátor palástja és a szivattyúház csatlakozó része egymásba illő kúpfelületek, vagy simára megmunkált sík felületek. A kondenzátor jó hővezető anyagból készül egyetlen fémtestből vagy a szivattyú hossztengelyére merőleges síkban elvágva két, egymáshoz sima felületekkel szorosan simuló darabból áll. Ezekben (pl. tömör anyagból marással vagy kokillaöntéssel kialakítva) ferde rések vannak, s a két darabot egymáshoz illesztve ezek optikailag nem átlátszó, de mégis kis áramlási ellenállású járatot alkotnak. 5 Az 1/1 rajzon bemutatott elrendezésben a diffúziós szivattyú hűtött F falába illeszkedik a K kondenzátor. A K kondenzátor és az F fal belső palástja egymásba illeszkedő sima SF felületű. A K kondenzátor r rései az R résekben folytatódnak. Az F fal a hűtést a H hűtő- 10 elemtől kapja, amely vízhűtés esetén üreges, léghűtésnél bordás kiképzésű. A találmány szerinti elrendezés előnye, hogy kis szerkezeti magasság valósítható meg vele (az áramlási ellenállás csökkentéséhez vezet). A szivattyú falához való 15 kúpos csatlakozás lehetővé teszi olyan rögzítő-hőátadó felületek kihagyását, amelyek elkerülhetetlenül csökkentenék a hasznos szívási keresztmetszetet. A külön egységként beépített hagyományos csapdáknál kevesebb anyagot és megmunkálási időt igényel, könnyebben tisz- 20 títható és szerelhető. A csapda hűtése a diffúziós szivatytyú egyébként is szükséges hűtőkörével történik. Szabadalmi igénypont 25 Elrendezés diffúziós szivattyú olajcsapdájára azzal jellemezve, hogy az olaj csapda kondenzátora (K) a diffúziós szivattyú falának (F) belső oldalához sima felülettel (SF) csatlakozik, a fal (F) külső oldalához hűtőelem 30 (H) van csatlakozó módon elrendezve. 1. ábra 2
