183574. lajstromszámú szabadalom • Beállító hajtómű févezető szeletek vizsgálatára
1 183 574 2 A találmány tárgya olyan hajtómű, amely 150 mm átmérőig terjedő félvezető-szeletek mérésére alkalmazható szeletvizsgálókon. A félvezető-szeletnek emellett vastagsági eltérései lehetnek. Félvezető-szeletek helyzetbeállításaihoz valamely szeletvizsgáló szondarendszere alatt különböző beállító rendszerek ismeretesek. A 137037 számú német demokratikus köztársaságbeli szabadalmi leírás ütközésmentes emelőberendezést ismertet, amelynél az emelőhorgony ütközőfelületeibe egyenletesen elosztott fúvókákon keresztül nyomólég kerül befúvatásra és ezáltal a mozgások az alsótól a felső magassági helyzetig és fordítva csillapítást kapnak. Hasonlóképpen az axiális mozgások vezetékei is légpárnákkal vannak felszerelve, amivel kopásmentességet lehet elérni. Hátrányt jelent, hogy a szelet-tányér közvetlen forgatásáról és a félvezető szeletek vastagsági eltérésének kiegyenlítéséről nem gondoskodnak. A 4066943 és a 3 936745 számú német szövetségi köztársaságbeli szabadalmi leírások egy gyors befogófejet ismertetnek félvezető-szeletekhez a szeletvizsgálókon történő alkalmazásra. Itt a magasságállítás léptetőmotor útján történik, amelynek tengelyére excenter van szerelve. Az excenter egy bizonyos szögnyi elforgatásával a befogófej megfelelő eszközökkel a két véghelyzet közötti mozgást végez. A mozgás ezúttal ütközésmentes szinuszoidális görbén megy végbe. A befogófej-tengely körül kézzel működtetett eszközzel forgatható a befogófej. Hátrányos ennél, hogy a forgóelmozdítás kézzel történik, amivel megnehezedik az automatizálás. Hasonlóképpen nincs meg a lehetőség a vastagsági eltérésekkel rendelkező félvezető-szeletek mérésére a gyors emelőmozgás felvételeinek változtatása nélkül. A találmány célja beállító hajtómű létesítése a félvezető-szeleten lévő integrált áramkörök vizsgálatára, amely útján a félvezető-szelet tetszőleges szöggel mechanikusan elforgatható, valamint két magassági helyzet között ütközésmentesen és gyorsan ide-oda mozgatható. A félvezető-szelet vastagsági eltéréseinek ki kell egyenlítődniük anélkül, hogy az ütközésmentes emelőmozgás feltételei változást szenvednének. A találmány feladata abban áll, hogy olyan beállító hajtóművet kell létrehozni, amellyel a szelet-tányér automatikus forgatása a függőleges tengely körül, továbbá a gyors, ütközésmentes és kopásmentes emelőmozgás a két magassági helyzet között forgatható kiemelő útján történik. Hajtómű forgatja a kiemelőt és egy másik hajtás szolgál a vastagsági tűrések kiegyenlítésére járulékos magassági mű útján. A találmány beállító hajtóművet foglal magában félvezető-szeleten lévő integrált áramkörök vizsgálataihoz, amely szelettámaszra van helyezve, aholis a szelettámasz X és Y irányban helyzetrögzítést kap és el van látva a szelettámasz két stabil helyzet közötti X irányú elállításához szolgáló eszközökkel, valamint a Z-tengely körüli elforgatásához szolgáló hajtóművel. A találmány szerint a szelettámasz állításának eszközei a két stabil helyzet között a forgásszimmetrikus emelőmágnes és az emelőmágnest magában foglaló forgásszimmetrikus csúszókeret. A szclettámasz Z- tengely körüli elforgatásának hajtóműve egy csapágygyűrűből áll az ebben elrendezett pólusokkal, továbbá a csúszókeretből. A beállító hajtóműnek egy további hajtóműve is van az említett emelőmozgástól független szelettámasz-mozgatásra, Z-irányban, a félvezetőszeletek vastagsági eltéréseinek kiegyenlítésére. A találmány szerinti kialakításban a csúszókeret első stabil helyzetéhez az emelőmágneshez képest egy első légpárna van hozzárendelve, amelyet az emelőmágnes felső légpárna-felülete és a csúszókeret felső lapja képez. A második stabil helyzetéhez egy második légpárna tartozik, amelyet az alsó légpárna-felület és az alsó lap képez. A légpárnafelületeken sűrített levegővel táplált fúvókák vannak egyenletesen elosztva. A lapok a csúszőkereten nyernek felerősítést. A továbbiakban a csapágygyűrűben a pólusok rögzítve vannak és a vájatok közötti felületeken vannak elhelyezve a sűrített levegővel táplált fúvókák. Mindamellett a csúszókeret egyrészt az emelőmágnes mozgó részeként, másrészt pedig a szelet-tányér forgó mozgása hajtási részeként az első légpárnában vagy a második légpárnában van csapágyazva Z-irányban és a csapágygyűrű felületei és a csúszókeret köpenyfelülete között kap sugárirányú támasztást. A továbbiakban az állandó, az emelő mozgástól független Z-mozgás számára a hajtómű legalább egy állórészből és egy fogaskerékből áll mágnesezett anyagból való fogakkal. A fogaskerékhez anya csatlakozik, amely mozgathatóan helyezkedik el az orsó perselyének külső menetén. Előnyös két állórésszel működtetni a beállító hajtóművet a következőképpen ismertetett kiviteli alakkal. Az állórész két-két pólust hordozó pólustartóból áll, aholis a pólusok egy-egy tekercset tartalmaznak, és olyan fogazással vannak ellátva, amelynek osztása azonos a fogaskerék fogazásával és a pólusfogak az osztásban pólusról-pólusra megfelelő módon el vannak tolva. A pólusokra adott, megfelelő feszültségeknél a fogaskerék forgásba jön és egyidejűleg az anya útján Z- irányban fel- vagy lefelé mozog a forgásiránytól függően. A Z-mozgás hajtásához tartozik még az anyán egy axiális csapágy, amelyre persely segítségével az emelőmágnes van szerelve. Az emelőmágnes nem forgatható és csatlakozó csonkok tartják meg helyzetében, a csonkokat az orsópersely vezeti. Az axiális csapágy az anyára rögzített csapágy-gyűrűből, két golyósgyűrűből és két egymással összekötött csapágycsészéből áll. A felső csapágycsészén az emelőmágnes perselye van rögzítve egy támaszon. Továbbá az orsópersely felső részén van a külső csapágyfelület és az emelőmágnes perselye a belső csapágyfelületet tartja. A csapágyfelületek között van a golyófészek beszerelve a függőleges vezetésre szolgáló golyókkal, amelyek a csapágyfelületeket érintik. Továbbá az emelőmágnesnek a veszteségteljesítmény-mentes stabil helyzetek elérésére egy vagy több állandó mágnese is van. Két tekercs az állandó mágnesekkel együttműködve azt célozza, hogy a körülzáró csúszókeret vagy a felső vagy az alsó helyzetben stabilan megálljon. A csúszókeret felső lapján van továbbá rögzítve menetes perselyekkel és illesztő csavarokkal a szelettámasz tartógyűrűje szigetelten. Ehhez a menetes perselyek a felső lapon műanyagba vannak beágyazva. A szelettámaszhoz fel van szerelve továbbá a hozzá képest elforgatható tömítődugattyú. 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 2
