183444. lajstromszámú szabadalom • Mintatartó lap katódporlasztáshoz és eljárás annak előállítására, valamint eljárás vékonyréteg bevonatok előállítására

Felelős kiadó: Himer Zoltán osztályvezető' Megjelent a Műszaki Könyvkiadó gondozásában 86.071. UNIPROP