183444. lajstromszámú szabadalom • Mintatartó lap katódporlasztáshoz és eljárás annak előállítására, valamint eljárás vékonyréteg bevonatok előállítására

183 444

NSZ03:C 23 C—15/00;

H01 F —41/18

Fig.la,

Fig .1 b,

Fig .1c,

5