183404. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és eelrendezés üveglemezen, vagy átlátszó hordozók közegben kialakított érzékelő kapacitív mátrix kialakítására
1 S3 404 2 Ezekből modulárisan felépül a mátrix-kapcsoló-fegyverzet. A paralelogramma alakú kapcsoló 12 fegyverzet ,,a"; „b” határozzák meg 11,13 fegyverzetek alakjait, A ,,c”; „d" méretek a fegyverzetek távolságát adja, A 4/b ábrán láthatók a 11, 13 fegyverzetek, melyek 5 mintázatai azonosak. Egyetlen elrendezési kikötés, hogy a 11, 13 fegyverzetek rétegmegvalósító mintázata egymásra merőleges irányú legyen. A mintázat jellemző paraméterei: K az elem osztás 10 P a mintázat-alakszöget jelöli, mely függ a kapcsoló 12 fegyverzet geometriai a, c, méreteitől. Az 5/a ábra ismerteti a kapacitív mátrixfegyverzet egy lehetséges megoldásának az elrendezését, metszetben. Ennél a megoldásnál hordozóként két üveglapot alkal- 15 mázunk, melyek közül az egyik átlátszó szigetelő 19 réteg is egyben. Az egyik üveglap egyik oldalára a 12 fegyverzetelektródák, másik oldalára a 11 vagy 13 fegyverzetek kerülnek felvitelre. A másik 22 üveglapra az első üveglaphoz közelebb eső felére kerülnek a 13 vagy 20 11 fegyverzetek. A két üveglap között átlátszó szigetelő 20 réteg van amely megfelelő vastagságú levegőréteg is lehet. Az 5/b ábra a találmány szerinti mátrix fegyverzeteinek egy további metszeti elrendezését mutatja. Az 25 üveglap „A” oldalára először felviszik a 12 fegyverzetet és a „B” oldalára a 11 vagy 13 fegyverzeteket. Következő lépésként a keresztezési 18 pontokra átlátszó szigetelő 20 réteget helyeznek. Pl. vákuumgőzöléssel szilíciumoxid réteget visznek fel. Utolsó lépésként a „B” olda- 30 Ion a keresztezési pontokon szigetelőréteggel lefedett részre felviszik a 13 vagy 11 fegyverzeteket. így egy egyszerűbb felépítésű mátrixelemet nyerünk. A 6. ábra az egymásra helyezett 11,12,13 fegyverzeteket ábrázolja felülnézetben. Az ábrából látható, hogy 35 a 11 és 13 fegyverzet-mintázat közti keresztezési felületek nagysága minimális, és ezen két réteg között szigetelés csak a keresztezési 18 pontokban szükséges. Látható az is, hogy ebben az elrendezésben a 11 és 13 fegyverzetek olyan háromszög kialakításúak, melyek a tég- 40 lalap alakú alapelem átló irányú szélvágásával jöttek létre. Az ábrából látható az is, hogy tetszőleges elemszámú mátrix kialakítható a 4 ja, 4/b ábrán ismertetett rajzolatokból. A találmány tárgya tehát egy kapacitív mátrixelrende- 45 zés, amely a következő előnyökkel rendelkezik az ismert kialakításokkal szemben; — Lényegesen kisebb a kivezetési ellenállások értéke, mint az ismert elrendezés esetén. — Az elektróda elvezetések gondjai az érzékeny mezők kozott megszűnnek, és ezek a mezők sűrűn, csaknem egymáshoz érve elhelyezhetők, függetlenül az elemek számától, amely optimális optikai fedettséget és minimális „holt teret'’ biztosít. A soronkénti minimalizált ellenállás értékét gyakorlatilag a ,.keresztező hidak” ellenállásértékeinek összege adja, amely arányos a sor elemeinek számával. — Az egyes érzékelő elemek vonatkoztatott szórt, parazita kapacitások értékei közel azonosak, amely lehetővé teszi a detektorok együttes egyszerűbb beállítását. — Az érzékeny mezők sűrűsége optimális fedettséget ad, ez mind a felhasználásban (kis holt tér), mind az átlátszóság egyenletességében előnyös. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás üveglemezen, vagy átlátszó hordozó közegen kialakított érzékelő kapacitív mátrix elemének kialakítására, azzal jellemezve, hogy a kapacitív mátrix elemet három rétegben alakítjuk ki, először egy átlátszó szigetelőlemez, előnyösen két oldalára visszünk fel egy^gy réteget, majd az átlátszó szigetelőanyagon alakítjuk ki a harmadik réteget, melyet szükség esetén átlátszó szigetelőlemezzel, előnyösen üveggel takarunk, vagy egy második átlátszó szigetelőlemezen, előnyösen üvegen alakítjuk ki a harmadik réteget és azt helyezzük harmadik réteget hordozó oldalával a vékony átlátszó szigetelő anyagra. 2. Elrendezés üveglemezen, vagy átlátszó hordozó közegen kialakított érzékelő kapacitív mátrix elemének kialakítására, előnyösen az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítására, azzal jellemezve, hogy a kapacitív mátrix elemnek (21) átlátszó szigetelőréteggel (20) elválasztott fegyverzetei (11, 13) továbbá átlátszó szigetelőréteggel (19) elválasztott kapcsolófegyverzete (12) van, a fegyverzetek (11, 13) egymás feletti síkokban egymásra merőleges tengelyek mentén vannak kialakítva. 3. A 2. igénypont szerinti elrendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az egymásra merőleges tengelyek mentén elhelyezkedő félbevágott paralelogramma alakú fegyverzetek (11, 13) saját tengelyük mentén vékony vezetőrétegekkel vannak összekötve. 8 db ábra 3
