182812. lajstromszámú szabadalom • Eljárás mikroáramköri maszkok számítógéppel segített tervezésére, ellenőrzésére és előállítására

NSZOa : G 03 F 1/00;

H 01 L 21/475

13 a

14a

15a

22 21

23 21

16 a

17a

16c

18 a

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

1*

17c

17c

17c

17c

17c

23

14 b

15 b

15

17b

18 b

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17c

17,

’7c

_ü

m

]7C

2. ábra

9