182812. lajstromszámú szabadalom • Eljárás mikroáramköri maszkok számítógéppel segített tervezésére, ellenőrzésére és előállítására
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG m)Hu LEÍRÁS SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY SZABADALMI A bejelentés napja: (22) 81. 03. 07. (21) 575/8 (11) 182 812 Nemzetközi osztályjelzet: (51) NSZO3 G 03 F 1/00; HOI L 21/475 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL A közzététel napja: (41 ) (42) 1983. 08. 29. Megjelent: (45) 85. 10. 31. Feltalálóik): (72) Bak Miklós villamosmérnök, Bodócs László matematikus. Kádár György fizikus, Zimmer György fizikus, Budapest Szabadalmas: (73) MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest (54) ELJÁRÁS MKROÁRAMKÖRI MASZKOK SZÁMÍTÓGÉPPEL SEGÍTETT TERVEZÉSÉRE, ELLENŐRZÉSÉRE ÉS ELŐÁLLÍTÁSÁRA (57) KIVONAT Az eljárás során először megtervezzük a maszkábrát, ezután előkészítjük az adatokat és az adatelőkészítés után vagy azzal egyidőben a maszk teljes rajzolatát több lépcsőben, célszerűen megválasztott számú ellenőrzési és ennél nem nagyobb számú technológiai hierarchiaszintű, lehetőség szerint azonos felépítésű fragmentumokra osztjuk fel. Ezután a legalacsonyabb szintű fragmentum-rajzolatokat elkészítjük; az így elkészített fragmentum-rajzolatok áramköri elemeket magukba foglaló belső ábrákból és határábrákból állnak. Az így elkészített fragmentum-rajzolatokat ellenőrizzük, hiba esetén javítjuk. Ezután a legalacsonyabb hierarchiaszintű fragmentum-rajzolatokat mint elemi ábrákat felhasználjuk a következő hierarchiaszintű fragmentum-rajzolatok elkészítéséhez, ezután ellenőrizzük és hiba esetén javítjuk a fragmentum-rajzolatokat. A fragmentumrajzolatok elkészítését, ellenőrzését és hiba esetén javítását hierarchiaszintenként végezzük el. Végül ábragenerátorral és lépkedő-ismétlő kamerával a technológiai hierarchiaszinteknek megfelelően több lépésben elkészítjük a maszklemezt. A találmány szerinti eljárás alkalmazása esetén csak a legalacsonyabb szintű fragmentumokat kell részletesen ellenőrizni (belső és határábrák), a magasabb szintű fragmentumoknál elegendő a határábrák illeszkedését vizsgálni; ezáltal az ellenőrzés, a javítás és a maszkkészítés ideje lényegesen lecsökken. 1. ábra
