182771. lajstromszámú szabadalom • Párologtatás vezérlő berendezés optikai rétegek előállításához
182771 A találmány tárgya párologtatás vezérlő berendezés optikai rétegek előállításához. Optikai bevonatok és szűrők vákuuinpárologtatással történő előállításánál az optikai jellemzők mérésére és a párologtatás szabályozására különféle módszerek terjedtek el. Az alkalmazások sokrétűsége - antireflexiós bevonatok, keskenysávún interferencia szűrők, sugár osztók, lézer tükrök stb. - egyre növekszik és ezzel együtt a rétegekkel szemben támasztott követelmények is egyre magasabbak lesznek. A magasabb követelmények következtében már nem elegendő a rér ^gek optikai^jellemzőinek előállítás közbeni folyamatos mérése, hanem a párologtatási sebességet is mérni? illetve szabi ózni kell. A fotométer elven működő optikai retegvastagságaiéi ok, bár a kívánt optikai jellemzők mérését kielégítő pontossággal biztosítják, de a lecsapódási sebesség mérését és szabályozását csak közvetett utón teszik lehetővé. Az optikai jellemzők - transzmisszió ás reflexió - a rétegvastagság nemlineáris függvényei és a rétegvastagságon kívül a hordozó és a mérendő réteg törésmutatóját is tartalmazzák. A párologtatási sebesség illetve lecsapódási sebesség csak ezen függvény differenciálásából származtatható. A párologtatási sebesség meghatározására a rezgőkvarcos elven működő mikromérlegek kiválóan alkalmasak, de ezek a kívánt optikai jellemzők mérését nem teszik lehetővé. Az eddig ismertetett megoldásoknál optikai rétegek párologtatásnál a következő eljárásokat alkalmazzák: 1. Az optikai jellemzőket fotométerrel mérik, és az állandó párologtat j.si sebességet különálló rezgőkvarcos mikromérleggel mérik, melynek lecsapódási sebesség kimenetét használják fel a lecsapódási sebesség szabályozására. 2. Az optikai jellemzők transzmisszió / gy reflexió/ rétegvastagság függvényét a hordozó anyaç c a felvitt réteg törésmutatójának ismeretében mikroszámítógéppel kiszámítják, mely függvényből a jellemző kívánt időbeli változását generálják és az igy generált függvényt használják fel vezetőjelül a párologtatás szabályozására. Az első módszer hátránya azon kivül, hogy két mérőberendezést /optikai és rezgőkvarcos/ igényel az, hovy nem biztosítható a két berendezés szinkronban való működtetése, miáltal különösen gyors párologtatásnál jelentős mérési és szabályozási hiba keletkezhet. A megoldás realizálását interface problémák is nehezítik. A második módszer hátránya, hogy az optikai jellemző kívánt időbeli változása, csak a hordozó és a mérendő réteg törésmutatója ismeretében és bonyolult módon határozható meg. Többrétegű bevonat-rendszerek esetén a kívánt függvény csak kísérleti utón határozható meg. Mivel a függvény nemlineáris, a szabályozás jósága munkapont függővé válik. A találmányunk alapját az a fölismerésünk képezi, hogy a két mérési módszer egyetlen mérőrendszerként egyesíthető és ez a rendszer az optikai jellemző pontos mérését és a párologtatási sebesség szabályozását egyszerű megoldással biztosítja. A mérendő réteg optikai jellemzőit itt is fotométer, a lecsapódási sebességet pedig rezgőkvarcos mikromérleg méri. A fotométer és a réz "kvarcos mikromérleg szinkron vezérlését és a mért adatok kiértékelését közös vezérlő egység égzl. A fotométer és 2
