182647. lajstromszámú szabadalom • Visszaverődésmentes emelőkészülék
182 647 A találmány tárgya visszaverődésmentes emelőkészülék, előnyösen félvezető lapok számára automatikus mikrolapocska vizsgálókban, amely érzékeny rendszerekben gyors emelőmozgást tesz lehetővé. Az ismert műszaki megoldások jellemzője A 101.283 számú NDK szabadalom emelőkészüléket ismertet gyors és visszaverődésmentes érintkeztetés biztosítására, amelynél a horgonyt két membránrugó tartja, amelyeknek rugóhatása meredekebb rugó jelleggörbéjük következtében az elektromágnes erő—út— jelleggörbéjével szemben hat. Emellett a rugóállandó változtatható előfeszítés útján beállítható. Ezen emelőkészülék alkalmazása viszonylag kis erőkre korlátozódik, vagyis nagy félvezető lapok esetén rövid működtetési idők nem valósíthatók meg. Ennek oka a fokozódó erővel ható rugó nagy ellenereje és az ebből következően szükséges nagy teljesítményszükségletű mágnestekercs. A 3.936.743 lsz. USA szabadalmi leírás egy befogófejet ismertet, amely egy léptetőmotorral meghajtott excenter segítségével valósítja meg az emelőmozgást. Itt hátrányos az egyes alkatrészek közötti súrlódás, amely ezen helyeken mechanikus záródást is előidézhet. Az is kedvezőtlen, hogy a befogófej számos alkatrészből áll, és a befogófelületnek párhuzamos vezetése a munkaállásban nehézkes. A találmány célja A találmány célja abban áll, hogy a lapátmérő növelésénél visszaverődésmentes emelőkészüléket alakítsunk ki, amely mechanikus szempontból egyszerű felépítésű, nem keletkezik kopás és amelynél az állító tag teljesítményveszteségei annyira csökkennek, hogy nincs szükség járulékos intézkedésre a keletkezett hő elvezetésére. 3 A találmány lényegének kifejtése A feladat, amelyet a találmánnyal el akarunk érni, abban áll, hogy egy gáz, előnyösen levegő, segítségével, amely nyomás alatt áramlik ki a mag és az emelőhorgony között, a horgonymozgást a végállás elérése előtt fékezéssel azáltal csillapítsuk hatásosan, hogy az ütközőfelületek között levő levegőt összenyomjuk és további csillapító eszközökön át a külső térbe áramoltatjuk. A találmány jellemzői A találmány tárgya visszaverődésmentes emelőkészülék, amelynél egy vagy több elektromágnes segítségével egy emelőhorgonyon rögzített befogófejet két végállás között függőleges irányban mozgatunk. Emelr lett az emelőhorgonyhoz ferromágnes maggal összekötött vezeték van rendelve. A vezetékben egyenletesen elosztott fúvókák vannak. A ferromágnes magnak egy felső felületéhez az emelőhorgony egy első ütközőfelülete, míg egy alsó felületéhez egy második ütközőfelület tartozik. A ferromágneses mag vagy az emelőhorgony egy vagy több felületében további fúvókák vannak szabályosan elrendezve. A fúvókákból gáz, előnyösen levegő, áramlik nyomás alatt. A magnak felső felülete és az emelőhorgony első ütközőfelülete között egy első közbenső tér található, és az alsó felület és a második ütközőfelület között egy második közbenső tér van. A közbenső terek és a külső tér között összeköttetésként szűk csatornák vannak elrendezve. A szűk csatornák keresztmetszete az emelőhorgony állásától függ. Ugyancsak lehetséges az is, hogy a szűk csatornák keresztmetszete fojtótagok útjén változtatható. A szűk csatornákat adott körülmények között közvetlenül a közbenső terek képezhetik. Az emelőhorgony mozgatásánál a levegőt, amely a két végállás egyikéhez tartozó közbenső térben van, az illető végállásba komprimáljuk, és ez erőteljes késleltetést okoz. A szűk csatornák, amelyeknek keresztmetszete változtatható, az emelőhorgony légpárnán történő rugózásának elnyomására szolgálnak. Az ütközőfelületek és/vagy az alsó és felső felület adott esetben mágnesezhető és nem mágnesezhető körzetekre vannak felbontva. Ezáltal a húzó- és csillapító erők arányTa szabályozzható. ' Az emelőkészülék egy vagy" két elektromágnest tartalmaz. Az egy- elektromágneses kivitelnél adott esetben az elektromágneshez tartozó mágneskor hatásirányával ellentétes irányiban ható lineáris vagy nem lineáris visszaállító rugó van az emelőhorgony és a mag között elrendezve. Amennyiben mindegyik végálláshoz egy-egy elektromágnes és ezzel együtt egy-egy mágneskor van rendelve, úgy a továbbiakban az is lehetséges, hogy a két mágneskor közös visszazáró pólus útján van egymással csatolva. A visszazáró pólus ebben az esetben állandó mágnest tartalmaz, amely szegmensekből is kialakítható. Az állandó mágnes kiküszöböli a veszteségi teljesítményt az emelőberendezés tartásánál, minthogy az emelőhorgony mozgatásához csak egy villamos átváltó impulzus szükséges. Kiviteli példa A találmány tárgyát kiviteli példa kapcsán, két rajz alapján ismertetjük részletesebben. Az 1. ábra a visszaverődésmenles emelőkészüléket mutatja metszetben. A 2. ábra a fojtótagok elrendezését mutatja a szűk csatornák keresztmetszetének szabályozására. A 3. ábra a felületek mágnesezhető és nem mágnesezhető körzetekre való felosztását ábrázolja. A 4. ábra egy- elektromágnessel kialakított emelőkészüléket szemléltet. Az 1. ábra szerinti visszaverődésmentes emelőkészülék félvezető lapok számára forgásszimmetrikusán van felépítve, és ferromágneses 1 magot tartalmaz. Az 1 4 S 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 3
