182247. lajstromszámú szabadalom • Berenezés alkatrészek, előnyösen szilicium lemezek atmoszferikus nyomás feletti kezelésérte

MAfiYAR

SZABADALMI

182247

NÉPKÖZTÁRSASÁG

LEÍRÁS

A

SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY

Nemzetközi osztályozás:

fg

p

Bejelentés napja: 1980. XII. 5. (2907/80)

NSZO3 H 01 L 21/31

ORSZÁGOS

TALÁLMÁNYI

HIVATAL

Közzététel napja: 1983. III. 28.

\* Châtia/mi Tár,

Megjelent: 1985. XII. 31

Feltalálók: Szabadalmas:

Bánki Ferenc villamosmérnök, (10%), Gyimesi Jenő vegyészmérnök, (20%), Gyulai József fizikus, (10%),

Majoros Ákos vegyészmérnök, (60%), Budapest

MTA Központi Fizikai Kutató Intézete, Budapest

Berendezés alkatrészek, előnyösen szilícium lemezek atmoszférikus nyomás feletti kezelésére

1. ábra

t

\82247