181779. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés különböző elemekből álló atmokból összetett vékony filmréteg növesztésére valamely hordozó felületén

181779

Nemzetközi osztályozás:

C 23 C 11/00, H 01 L 21/365

5/3

FIG.1Q

FIG.12