181618. lajstromszámú szabadalom • Integrált rétegelési eljárás
13 181618 14 időre korlátozódik, míg a szubsztrátum a hengerközben tartózkodik. Leállítás esetén a termikus bomlásra hajlamos fényérzékeny réteg mennyisége lényegesen csökken. A 9 adagoló hengerek mechanikus összeköttetésben állnak az 1 lapok továbbítására szolgáló szerkezettel olyan módon, hogy a 9 adagoló hengerek közé való belépéskor a lapok felsorakoznak egymás mögé és a lapok húzott és vezető élei között a 11 film nem képez jelentősebb mennyiségben hidat. A hordozóra felvitt fényérzékeny réteg — amelyet az 1. példa szerint állítottunk elő — a 12 adagoló hengerekről érkezik. Az egymás mögé sorba rendezett lapok a 11 fényérzékeny rétegekkel bejutnak a 13 fütött lamináló hengerközbe, amelyben a 11 fényérzékeny réteg melegítést és nyomást kap, ami által a vékony folyadékréteg a fényérzékeny rétegbe való felszívódásával eltávozik a szubsztrátumról. A lamináló hengerek felületének hőmérséklete mintegy 110 °C és a lapok áthaladási sebessége a laminátoron mintegy 2 m/perc. A laminálás a lap megtisztítása után mintegy 40 másodperccel befejeződik. A lamináló hengerek nyitására és zárására szolgáló előnyös mozgató forgattyús mechanizmus a.........számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi bejelentésben került ismertetésre (1981. február 17.; PD —1900). A még mindig egymáshoz érő, réteggel ellátott 1 lapok egyenletes sebességgel áthaladnak a 15 ékek között. A 15 ékek kilépő végénél a 17 poli(etilén-tereftalát) szövetet a folytonos film külső felületén tompaszögben (itt 150°-os szögben) egyenletesen lehúzzuk a szubsztrátumról, ami azt eredményezi, hogy a fényérzékeny lemez az I lap vezető éle mentén egyenes vonalban lesorjázódik. A 17 szövetet a 19 feltekercselő hengerek és a lap továbbhaladó mozgásának segítségével húzzuk le. A feltekercselő hengeren a megfelelő feszültség biztosítására szolgáló tengelykapcsoló ismertetése a ......... számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi leírásban található meg (1981. február 17.; PD -1901). Amint az 1 szubsztrátum kilép a 15 ékek közül a fényérzékeny réteg egyre nagyobb része válik szabaddá, és a lap bejut egy, a széleit szilárdan megfogó, tengelykapcsolóval meghajtott 21 sorjázó hengerközbe, amelyben a hengerek gyorsabban forognak az előrehaladó lapok sebességénél mindaddig, amíg meg nem ragadják a panel széleit. Ezután a sorjázó hengerek egy, a sebességkülönbséget kiegyenlítő csúszó tengelykapcsoló segítségével felveszik a lap sebességét. A 21 sorjázó hengerek húzóerőt fejtenek ki a rétegekre, ami a hőre lágyuló rétegek sima lesorjázását eredményezi a lap húzott éle mentén amint az kilép a 15 ékek közül. Egy másik és szintén előnyös módszert a laminált és lesorjázott szubsztrátumok megragadására a.........számú amerikai egyesült államokbeli szabadalmi bejelentésben ismertetnek (1981. február 17.; PD—1902). Amikor a húzott él sorjázása befejeződött, így a sorozatban elkülönülnek a vezető és húzott lapok, a réteggel ellátott lap alkalmas a hagyományos fotorezisztens eljárásokkal történő áramköri lapok előállítására. A 2. ábra keresztmetszetben mutatja be a találmány szerinti laminálás kivitelezésének előnyös megvalósítási módját, amelynek során a 100 vékony folyadékfilm felvitele után a 104 hordozófilmre rögzített 102 fényérzékeny réteget rárétegeljük a 107 vékony rézbevonattal ellátott 106 szubsztrátumra oly módon, hogy átvezetjük azokat a 108 és 110 lamináló hengerek között. A szubsztrátum 107 rézbevonata és a 102 fényérzékeny réteg közötti adhéziós kötés (A2) erőssége meghaladja a 102 fényérzékeny réteg és a 104 hordozó közötti adhéziós kötés (A,) erősségét. A 3. ábra keresztmetszetben mutatja be a 106 réteggel ellátott szubsztrátum frontális élének lesorjázására szolgáló előnyös eljárást, ahol az előrehaladó lapok térközökkel vannak elhelyezve. A lamináló hengerek közül való kilépéskor a 104 hordozót és a 102 fényérzékeny réteget tompaszögben és kis sugárban lehúzzuk a 112 éken át oly módon, hogy a 102 fényérzékeny réteg szakítószilárdságát.a 106 szubsztrátum frontális élén meghaladjuk, ami azt eredményezi, hogy a 102 réteg keresztirányban eltörik a 106 szubsztrátum vezető élén, mint ezt a 3b. ábra mutatja. Ennél a műveletnél A] nagyobb A2-nél, mely utóbbi viszont nagyobb B-nél. A 4. ábra keresztmetszetben ábrázolja, a 106 laminált szubsztrátum húzott élének lesorjázását, amikor az előrehaladó szubsztrátumok térközökben követik egymást. Amint a 106 szubsztrátum húzott éléről eltávolítjuk a hordozót, a húzott élre merőleges, hosszanti irányú húzóerőt (azaz a haladás irányával párhuzamos) alkalmazunk, amellyel tovább húzzuk a szubsztrátum vezető élét úgy, hogy a húzott él mentén a 102 fényérzékeny réteg szakítószilárdságát (B) túllépjük. Jóllehet a találmány szerinti eljárást az ismertetés szerint folytonos ütemben végeztük, nyilvánvaló, hogy az éppúgy végrehajtható megszakításokkal is. Előnyös, hogy az eljárásban felhasználandó hőre lágyuló réteg viszonylag keményebb a legtöbb fényérzékeny rétegnél. A keménység a réteget egyúttal viszonylag törékennyé is teszi, azaz nagy meghajlításkor viszkozitáscsökkenésben megnyilvánulva veszít szilárdságából, ami által a réteg dilatációsjelleget mutat. Az eljárás előnyt húz ebből oly módon, hogy a laminálás után a réteg megfeszítésekor a réteg eltörik a szubsztrátum húzott éle mentén és nem nyúlik meg és nem töredezik szabálytalanul, mint ez a lágyabb rétegekkel bekövetkezne. Előnyös, hogy az eljárás egyszerre az egymást követő szubsztrátumok mindkét oldalán lefolytatható, így a fényérzékeny réteget a szubsztrátum mindkét oldalára felvihetjük. Ebben az esetben különösen fontos, hogy ne legyen jelen folyadék a szubsztrátum furataiban, nehogy a laminálás hője elpárologtassa a folyadékot, valamint nehogy a fényérzékeny réteg „sátrai” a szubsztrátum furatai fölött kiterjedjenek és felrepedjenek. Szintén előnyös, hogy az egymást követő szubsztrátumok elég közel legyenek ahhoz, hogy a réteg felvitelére használt, rendszerint rugóval terhelt lamináló hengerek nehogy „leüljenek” a szubsztrátumok között. Ezáltal elkerüljük az egymást követő szubsztrátumok között kinyúló két fotopolimerizálható réteg — vagyis az egymás utáni szubsztrátumok közötti „zsanérok” — egymáshoz tapadását, minthogy egy ilyen összetapadás valószínűleg megakadályozná a vezető él önsorjázását a hordozófilmek eltávolításakor. Egy másik megoldás szerint a lamináló hengerekre gyakorolt nyomás csökkenthető a rétegek összetapadásának megakadályozása végett. 2. példa Litográfiás nyomólap előállítása Az 1. példa szerinti eljárást követve előállítottunk egy fényérzékeny bevonó keveréket azzal a különbséggel, hogy az 1. példában használt gyöngyök helyett 16 súlyrész 1 mikronos polietilén gyöngyöt (Microfine VIII — F. Gold; Dura Commodities Corporation, Harrison, NY) diszpergáltunk a bevonó oldatban. Egy 0,023 cm vastag alumínium lap felületét wolfram-karbid kefével vízben ledörzsöltük, melyhez Chemcut* Model 107 (Chemcut Corporation, State College, PA) mechanikus tisztítórendszert használtunk, és a ledör5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 7
