181397. lajstromszámú szabadalom • Porlasztóberenezés automatikus betápláló egységgel
.GYÁR JZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 1813v Bejelentés napja: I98l. XII. 23. Elsőbbsége: 1981. I. 5. (WP C 23 C/226 8 0) Német Demokratikus Köztársaság Nemzetközi osztályozás: (3936/81) NSZOj B 05 B 1/00; t~23 C 15/00 ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1982. IX. 28. Megjelent: 1985. VI. 30. Szabadalmi Tár, ' JW-AJDONA Feltalálók: Kosch Wolfgang, mérnök, Drezda Weckend Siegfried, mérnök, Drezda Teschner Götz, oki. mérnök, Drezda Heisig Ullrich, dr., mérnök, Drezda Német Demokratikus Köztársaság Szabadalmas: VEB Zentrum für Forschung und Technologie Mikroelektronik, Drezda, Német Demokratikus Köztársaság Porlasztóberendezés automatikus betápláló egységgel 1 2 A találmány tárgya porlasztóberendezés zsilipelhető tartóelemek céltárgyhordozókkal való automatikus megrakására szolgáló betápláló egységgel. A porlasztóberendezés szakaszos adagolású üzemben működik és nagyszámú azonos céltárgy réteggel való bevonására szolgál. Az ismert porlasztóberendezéseknek sik tányérként vagy tálcaként kialakított zsilipelhető tartóelemeik vannak, és ezeket juttatják be a berendezésbe. Emellett ismertek zsilipelhető bolygómüvek is. A zsilipelhető tartóelemeket túlnyomórészt kézzel helyezik be a zsilipkamrába és onnan a réteg- 10 gél való bevonás után kézzel veszik ki. Ezeknek a zsilipelhető tartóelemeknek a céltárgyakkal való megrakása és a céltárgyak levétele vagy kézzel, vagy pedig a berendezéstől különválasztott automatikus betápláló egységgel történik. Ismertek olyan porlasztóberendezések is, ahol a berendezéshez egy előkészítő állomás is tartozik, amely a zsilipkamrához van hozzárendelve és benne történik a zsilipelhető tartóelemek céltárgyakkal való megrakása, illetve azok levétele. Ezen ismert berendezések mindegyikének hátránya az, hogy a céltárgyak réteggel bevonandó felülete az előkészítésnél és a porlasztókamrában felfelé néz. Emiatt nem lehet megakadályozni a céltárgyak szennyeződését az előkészítésnél a por, a porlasztókamrában pedig a fémpikkelyek által. Az ilyen előkészítés további hátránya az, hogy a zsilipelhető tartóelemek meg- és berakásához szükséges idő holtidőt jelent a porlasztóberendezés számára és ezzel csökkenti annak termelékenységét. Ismertek olyan porlasztóberendezések is, amelyek a zsilipelhető tartóelemek számára rakatként kialakított puffertárolóval vannak ellátva. A zsilipelhető tartóelemek ilyen előkészítése is berendezésen kívüli meg- és berakást igényel, illetve a tálcák kézi szállítását teszi szükségessé a kieresztő zsiliptől a beeresztő zsilipig. A zsilipelhető tartóelemek céltárgyakkal való megrakása és azok levétele különösen akkor 5 ütközik nehézségekbe, ha a tartóelem forgatást vagy bolygómozgást biztosító hajtóelemekkel van felszerelve. A találmány célja, hogy a technika jelenlegi állása szerinti hiányosságokat kiküszöbölje és növelje a porlasztóberendezés egészének termelékenységét. A ta álmány által megoldandó feladat porlasztóberendezés létrehozása olyan integrált betápláló egységgel, ahol a céltárgyak berendezésen keresztül történő szállítását és megfordítását a céltárgy hordozására szolgáló zsilipelhető tartóelemek végzik. Emellett ezen egységnek pufferként kell szol- 15 gálnia a zsilipelhető tartóelemek számára és lehetővé kell tennie az alulról történő rétegfelhordást. Ezenkívül az egységnek biztosítania kell a zsilipelhető tartóelemek meg- és lerakás it. A kitűzött feladatot a találmány értelmében olyan por- 20 lasztób .'rendezéssel oldjuk meg, amely porlasztókamrából, zsilipka mrából és betápláló egységből áll, ahol a tartóelemek zsilipkamrában és porlasztókamrában való hosszirányú továbbítására egy síkban elhelyezkedő hajtóelemek vannak elrendezve és a betápláló egységbe egymás fölött két tartóele- 25 meket befogadó fordítószerkezet ban beépítve. A tartóelemek úgy vannak a fordítószerkezetben elrendezve, illetve ez úgy veszi fel azokat, hogy a céltárgyakat hordozó oldal mindig kívül legyen. Ily módon a tartóelemek zsilipkamrán keresztüli továbbítása a porlasztókamrába lefelé néző céltár- 30 gyakka' történik, míg a betápláló egységben a mindenkori 181397
