181371. lajstromszámú szabadalom • Trimmerkondenzátor
181371 6 S forgórész nem borítandó felületei maszkkal vannak lefedve. A felületeket az eljárás során rugőzóan nyomjuk a merev maszkokhoz. A rétegelési eljárás alatt a maradék gáznyomás értéke 5 • 10-4 Pa. A becsapódási sebesség értéke 1 /am/perc. Az eljárás során a CuNi 56/44 réteg felvitele előtt egy tapadóréteget viszünk fel NiCr 80/20 anyagból, 50 nm vastagságban. A fegyverzetek forrasztása és összekötése a 3 tengellyel LSnóOCul réz forraszanyaggal történik. Az állórész megfeleld simaságú felületének megvalósításához kiváló minőségű kerámia alkalmazása szükséges. Az eddig alkalmazott alapanyagok általában megfelelnek, ha a szinterezés után egy további tükrösítő eljárást is alkalmazunk az állórész felületének kiképzésekor. Szabadalmi igénypontok: 1. Trimmerkondenzátor, amely kerámiából kialakított álló- és forgórészt tartalmaz^ amelyekre egy közbenső tapadóréteg van elhelyezve és adott geometriájú elektródákhoz, és az elektródák forrasztással vannak a fegyverzetekkel összekapcsolva, azzal jellemezve, hogy a forrasztási csatlakozással ellátott 5 elektródák (6, 7) 1,5-3 pm vastagságú CuNi ötvözetből vannak kialakítva, ahol az ötvözet Ni tartalma 30-60%, továbbá az állórész (1) felületének egyenetlenségei kisebbek, mint 0,7 pm. 10 2. Az 1. igénypont szerinti trimmerkondenzátor kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a forrasztási csatlakozás (4) az elektródák (6, 7) és a fegyverzetek között CuSn-ből van kialakítva, amelynek Cu tartalma 2%. 15 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti trimmerkondenzátor kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy az elektródák (6, 7) alatt egy tapadóréteg van kiképezve. 4. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti trim- 20 merkondenzátor kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a tapadóréteg alatt tükrösített állórészfelület van kiképezve. 1 rajz, 3 ábra A kiadáséit felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 85.4007 - Zrínyi Nyomda, Budapest 3
