181341. lajstromszámú szabadalom • Eljárás filmképző hőrelágyuló polimerek rétegelésére szubsztrátumokra
181341 (c) 40% N-terc-oktil-akril-amidot, 34% metil-metakrilátot, 16% akrilsavat, 6% hidroxi-propil-metakrilátot és 4% terc-butil-amino-etil-metakrilátot tartalmazó interpolimer; molekulasúly kb. 50 000 5 (d) Polioxietilezett trimetilol-propán-triakrilát (20 mól etilén-oxid); molekulasúly: 1162 10 (e) T rime tilol-propán-triakrilá t 12,5 (0 Benzofenon 4 (g) 4,4’-Bisz(dimetil-amino)-benzofenon (Michler-féle keton) 0,7 (h) 2,2 ’-Bisz(2-klór-fenil)-4,4’,5,5 ’--tetrafenil-biimidazol 3 (0 Leuko kristály ibolya 0,4 0) Benzotriazol 0,2 (k) 1,4,4-trimetil-2,3-diazabiciklo[3.2.]non-2-én-2,3-dioxid 0,06 0) Victoria Green (C.I. Pigment Green 18) 0,03 (m) Metilén-klorid 200 (n) Metanol 15 A fenti bevonó oldatban 13 súlyrész polietilén gyöngyöt (amelyek 85%-a 10 mikronos átmérőjűnél kisebb, 15%-a pedig 10 és 20 mikron közötti átmérőjű volt) diszpergáltunk. A keveréket felvittük egy 0,00127 cm vastag poli(etilén-tereftalát) szövetre, amelynek hátsó oldalán egy Carnuba viaszt és poli(vinilidén-klorid) keverékét tartalmazó keverékből álló vékony réteg helyezkedett el, A fotopolimerizálható réteget megszárítottuk, mikor is száraz állapotban mért vastagsága 0,00254 cm volt, majd a száraz, bevonattal ellátott anyag mintegy 30,5 m-jét feltekercseltük. Az alábbiakban részletes magyarázatot fűzünk a rajzmelléklethez. Az 1. ábrán látható, hogy a nyomtatott áramköri szubsztrátumok (lapok) sorozatának mindegyik tagját folyamatosan mechanikus módon továbbítjuk egy görgős szállítóvonalon a 3 tisztító kamrán keresztül, amelyben mind az alsó, mind a felső rézzel bevont felületet mechanikus ledörzsöléssel, erős vízsugárral megtisztítjuk. A lapok anyaga üvegszállal erősített epoxigyanta. A tisztított szubsztrátumok ezután az 5 rendező hengersorba jutnak - a szubsztrátumok az egyenletes vízfilm vizsgálat szerinti tisztaságúak —, ahol a lapok oldalai pontosan elrendeződnek. Az 5 rendező hengersorból a felsorakoztatott lapok kilépnek és elhaladnak a 6 folyadékréteget felvivő hengerek között, mely hengerekbe a vékony réteg képzésére szolgáló folyadék (ebben az esetben víz) a 7 vezetéken érkezik a 6 hengerek belső üregébe. A 6 felhordóhengerek egy szabályos mintában perforált fémmagot tartalmaznak, amelyen egy kemény, porózus polietilén hüvely van, amelyen viszont egy gyapjúszövet bevonat van, melyen a vékony réteget képző folyadék áthalad és bevonat formájában felkerül a szubsztrátumokra. A 6 felhordóhengerek belsejében a folyadékszintet a 8 rögzített szintű elvezető korlátozza. A vékony vízréteggel mindkét.oldalán ellátott lap ezután a 9 alsó és felső adagoló hengerek közé kerül, amelyek a 11 folytonos, hordozóra felvitt fényérzékeny réteg védetlen felületét (lásd 1, példa) ráfektetik a vékony folyadékréteggel bevont szubsztrátumra. 5 A 9 adagoló hengerek mechanikus összeköttetésben állnak az 1 lapok továbbítására szolgáló szerkezettel olyan módon, hogy a 9 adagoló hengerek közé való belépéskor a lapok felsorakoznak egymás mögé és a lapok húzott és vezető élei között all 0 film nem képez jelentősebb mennyiségben hidat. A hordozóra felvitt fényérzékeny réteg - amelyet az 1. példa szerint állítunk elő - a 12 adagoló hengerekről érkezik. Az egymás mögé sorba rendezett lapok a 11 fényérzékeny rétegekkel bejutnak a 13 15 fűtött lamináló hengerközbe, amelyben a 11 fényérzékeny réteg melegítést és nyomást kap, ami által a vékony folyadékréteg a fényérzékeny rétegbe való felszívódásával eltávozik a szubsztrátumról. A lamináló hengerek felületének hőmérséklete mintegy 20 110°C és a lapok áthaladási sebessége a laminátoron mintegy 2 m/perc. A laminálás a lap megtisztítása után mintegy 40 másodperccel befejeződik. A felület kezelése és a laminálás között eltelt idő mintegy 5 másodperc. •!5 A még mindig egymáshoz érő, réteggel ellátott 1 lapok egyenletes sebességgel áthaladnak a 15 ékek között. A 15 ékek kilépő végénél a 17 poli(etilén-tereftalát) szövetet a folytonos film külső felületén tompaszögben (itt 150°-os szögben) egyenletesen le- 30 húzzuk a szubsztrátumról, ami azt eredményezi, hogy a fényérzékeny lemez az 1 lap vezető éle mentén egyenes vonalban lesoijázódik. A 17 szövetet a 19 feltekercselő hengerek és a lap továbbhaladó mozgásának segítségével húzzuk le. 35 Amint az 1 szubsztrátum kilép a 15 ékek közül a fényérzékeny réteg egyre nagyobb része válik szabaddá, és a lap bejut egy, a széleit szilárdan megfogó, tengelykapcsolóval meghajtott 21 sorjázó hengerközbe, amelyben a hengerek gyorsabban forognak 40 az előrehaladó lapok sebességénél mindaddig, amíg meg nem ragadják a panel széleit. Ezután a sorjázó hengerek egy, a sebességkülönbséget kiegyenlítő csúszó tengelykapcsoló segítségével felveszik a lap sebességét. A 21 sorjázó hengerek keresztirányú 45 húzóerőt fejtenek ki a lapra, ami a hőrelágyuló rétegek sima lesorjázását eredményezi a lap húzott éle mentén amint az kilép a 15 ékek közül. Amikor a húzott él sorjázása befejeződött, így a sorozatban elkülönülnek a vezető és húzott lapok, a réteggel ellá- 50 tott lap alkalmas a hagyományos fotorezisztens eljárásokkal történő áramköri lapok előállítására. Amikor az előrehaladó szubsztrátumok úgy ütköznek össze egymással, hogy a vezető lap húzott éle és soron következő lap vezető éle között nincs 55 jelentős térköz, egy hosszanti irányú húzófeszültség alkalmazása azt eredményezi, hogy az szimultán módon lesorjázza a réteget a vezető lap húzott éléről és a következő lap vezető éléről. Ha viszont az egymást követő lapok úgy helyezkednek el, hogy 60 a fényérzékeny rétegből egy „híd” képződik, amely áthidalja a vezető lap húzott éle és a következő lap vezető éle közötti rést, akkor szükségessé válik a két él külön lesorjázása. Ebben az esetben a lapok vezető élének lesorjázásához szükséges keresztirányú 65 húzófeszültséget előnyösen úgy biztosítjuk, hogy a 6
