181194. lajstromszámú szabadalom • Elrendezés kvadrupól tömegspektrométer vákuummérő üzemmódjának megvalósítására
3 181194 4 méter méréshatárának a váltásával és az elektrométer jelét átlagoló fokozathoz csatlakozó utóerősítő erősítésének a váltásával lehet megoldani. A K kapcsoló egység egyrészt az IT ionforrás tápegységhez, másrészt az RD rf/dc generátorhoz és az F fűrészgenerátorhoz csatlakozik. A K kapcsoló egység feladata, hogy vákuummérő üzemmódban rögzítse az IT ionforrás tápegység paramétereit, amelyek meghatározzák az IT ionforrás tápegységhez csatlakozó I ionforrás elektróda-feszültségeit és emissziós áramát, továbbá, hogy rögzítse az R rúdrendszer feszültségeit előállító RD rf/dc generátor rádiófrekvenciás és egyen feszültségének az arányát, valamint kapcsolja be az RD rf/dc generátort vezérlő F fűrészgenerátort. A mérendő gáz nyomásával arányos ionáramot előállító I ionforrás a fajlagos tömeg szerint szelektáló R rúdrendszerhez csatlakozik, amelyen áthaladó ionáram a D detektorra fut fel. A D detektor áramát a hozzá csatlakozó E elektrométer feszültséggé konvertálja. Az E elektrométer jelét az AU átlagoló és utóerősítő fokozat átlagolja és a hozzá csatlakozó J kijelző meghajtásához szükséges szintre erősíti. A találmány szerinti elrendezés előnye, hogy lehetővé teszi az össznyomás mérését a kvadrupól tömegspektrométerrel és ezt kényegében a tömegspektrométer meglevő elemeivel, csupán egyszerű elemek (kapcsolók) fűrészgenerátor, átlagoló és utóerősítő) beiktatásával, tehát nagyon olcsó eszközökkel éri el. Irodalom: 1. E. A. Trendelenbrug, Ultrahochvacuum, Verlag G. Braun Karlsruhe, 1963. 2. A. I. G. 50 Analitical Ion Gause - gyári ismertető. 20lh Century, Electronics Ltd. England. Szabadalmi igénypont: Elrendezés kvadrupól tömegspektrométer vá- 15 kuummérő üzemmódjának megvalósítására, azzal jellemezve, hogy egy kapcsoló egység (K) egyik kimenete ionforrás tápegységhez (IT), másik kimenete rf/dc generátorhoz (RD), harmadik kimenete fűrészgenerátorhoz (F) csatlakozik, amelynek ki- 20 menete az rf/dc generátor (RD) vezérlő bemenetére van kötve, ez utóbbi kimenete a kvadrupól rúdrendszerhez (R) kapcsolódik, amelynek belépő oldalára az ionforrás (I) csatlakozik, az ionforrás (I) bemenetéhez az ionforrás tápegység (IT) kimenete 25 van kötve, és a rúdrendszer (R) kimenő oldalához detektor (D) kapcsolódik, amelynek kimenete elektrométer (E) bemenetére, az utóbbi kimenete átlagoló és utóerősítő (AU) bemenetére csatlakozik, s ennek kimenete kijelző (J) bemenetére van kötve. 30 A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 84.4284 - Zrínyi Nyomda, Budapest 2
