181136. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető elemek tranziens kapacitásváltozásának mérésére
11 181136 12 ponált kimenetén ezért a periódusidő első 10%-ában logikai 0, további részén pedig logikai 1-es szint van. Az 59 kapuzott tároló úgy van kiképezve, hogy a 60 kapubemenetére vezetett és a t3 időpontban jelentkező átmenet csak akkor tudja állapotát megvál- 5 toztatni, ha a t3 időpont a 0,1 Tp időtartam után következik be, amikor a 47 tároló kimenete logikai 1-es szintet vesz fel. Ez azt jelenti, hogy az 59 kapuzott tároló akkor billen át, ha a 3. ábrán vázolt Tg időtartam meghaladja a periódusidő 10%-át. A 61 10 hibajelző egység az 59 kapuzott tároló állapotváltozását jelzi a kezelő részére, akinek ekkor a 41 kezelőegységen rövidebb időtartamot kell beállítania. A fentiekből következik, hogy a 2. ábrán vázolt áramkör valóban előállítja az 1. ábrán vázolt kapaci-15 tásváltozást mérő berendezés működéséhez szükséges vezérlőfeszültségeket. Azt is beláthatjuk, hogy szakember a példákban foglalt kitanítás alapján a bemütatott konkrét megoldásoktól eltérő számos változatot létrehozhat a találmány alapgondolatától való el- 20 távolodás nélkül. A találmányt ezért nem korlátozhatjuk a csak példaként bemutatott kiviteli alakok vagy számadatok egyikére sem. Szabadalmi igénypontok: 25 1. Eljárás félvezető elemek tranziens kapacitásváltozásának mérésére, amelynek során a mérendő félvezető elemből képzett diódára nagyfrekvenciás jelet kapcsolunk, a mérést ezen jel frekvenciájánál 30 lényegesen kisebb impulzus ismétlődési frekvencia (fp) minden periódus idején (Tp) belül meghatározott mérési periódus alatt a félvezető diódán keresztüljutott nagyfrekvenciás kapacitív jelösszetevő alapján végezzük, és az impulzus frekvencia minden 35 periódusának kezdeti időpontjában (tQ) a diódára meghatározott időtartamra (TB) első egyenfeszültséget, ennek befejeződési időpontjától (tj) a periódus végéig második meghatározott egyenfeszültséget kapcsolunk, a mérési periódust az említett befejező- 40 dési időponttól (tj) számított holt idő (Th) eltelte után indítjuk és minden periódusidő (Tp) alatt az említett kapacitív jelösszetevő amplitúdó burkológörbéjéből lock-in egyenirányítással kiválasztjuk a mérési periódus kezdeti időpontjában (t3) indított 45 fázisú impulzusfrekvencia (fp) összetevőt, és az egymásutáni periódusok során nyert összetevők változása alapján a dióda kapacitásának változását meghatározzuk, azzal jellemezve, hogy minden periódusidőn (Tp) belül, a mérési periódus idejének (Tm) 50 kezdetét a holt időt (Th) követően az első feszültség rákapcsolási időtartamának (TB) befejeződési időpontjához (t, ) képest meghatározott állandó fázishelyzetű időpontban (t3) indítjuk. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási 55 módja, azzal jellemezve, hogy minden mérési periódus (TM) vége és a következő mérési periódus kezdete között a hiányzó burkológörbe értéket egy olyan feszültségszinttel helyettesítjük, amely az érintett mérési periódus (Tm) befejező szakasza közeié- 60 ben a burkológörbéből adott időtartamú átlagolással nyert tényleges feszültségnek (Um) felel meg. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a holt idő (Th) tartamát az impulzusok periódus idejének (Tp) meghatározott állandó tört részére állítjuk be, 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első feszültség rákapcsolási időtartamának (TB) és a holt időnek (Th) az együttes időtartamát (Tg) a periódus idő (Tp) 10%-ánál rövidebbre állítjuk be. 5. Berendezés félvezető elemek tranziens kapacitásváltozásának mérésére, amely a mérendő félvezető elemet reprezentáló diódából (13) és kiegyenlítő kondenzátorból (14) képzett mérőkört (12), ehhez nagyfrekvenciás transzformátoron (11) keresztül csatlakozó nagyfrekvenciás generátort (10). a mérőkor (12) kimenetéhez kapcsolt nagyfrekvenciás erősítőt (18), ehhez csatlakozó fázisérzékeny egyenirányítót (22), majd a fázisérzékeny egyenirányító (22) kimenetéhez csatlakoztatott bemenetű lock-in erősítőt és első és második egyenfeszültségforrást impulzusszerűen a diódára (13) kapcsoló vezérlőegységet (32) tartalmaz, ahol a vezérlőegység impulzusfrekvenciás kimenete a lock-in erősítő (24) négyszögfeszültség bemenetével van összekötve, azzal jellemezve, hogy a nagyfrekvenciás transzformátor (11) közép kivezetése első vezérelt kapcsolón (15) keresztül felváltva az első, illetve második egyenfeszültségforrással (16, 17) van összekötve, és az első vezérelt kapcsoló (15) a vezérlőegységnek (32) az első impulzusszerű vezérlőfeszültséget (C) szolgáltató kimenetével van összekötve, és a mérőkor (12) kimenete második vezérelt kapcsolón (19) keresztül a földhöz csatalkozik, és a második vezérelt kapcsoló (19) vezérlőbemenete a vezérlőegységnek (32) az első vezérlőfeszültséghez (C) képest kis mértékben késleltetett befejeződésű vezérlőfeszültséget (D) szolgáltató kimenetéhez van kapcsolva, továbbá a fázisérzékeny egyenirányító (22) kimenete harmadik vezérelt kapcsolón (25) keresztül van a lock-in erősítő (24) bemenetével összekötve és a harmadik vezérelt kapcsoló (25) vezérlő bemenete a vezérlőegységnek (32) a mérési periódust (Tm) kijelölő vezérlőfeszültséget (E) szolgáltató kimenetével van összekötve. 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a harmadik vezérelt kapcsoló (25) vezérlő bemenetével összekötött vezérlő bemenetű, de azzal ellentétes kapcsolási állapotú negyedik vezérelt kapcsolója (26) van, amelynek váltóérintkezője a lock-in erősítő (24) bemenetével van összekötve, a fázisérzékeny egyenirányító (22) kimenete a negyedik vezérelt kapcsoló (26) munkaérintkezőjével és a harmadik vezérelt kapcsoló (25) nyugvó érintkezőjével van összekötve, és a harmadik vezérelt kapcsoló (25) másik érintkezője és a negyedik vezérelt kapcsoló (26) nyugvó érintkezője közé integrátoros bemenetű erősítő (27) van kapcsolva. 3 rajz, 3 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 84.4278 - Zrínyi Nyomda, Budapest 6
