179895. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fényforrásiparban használt molibdénfóliás árambevezetők és az elektródok összehegesztésére vákuumpárologtatással felvitt kontaktáló anyagok alkalmazásával
179757 kuumpárologtatással ismert párologtató berendezésekben a molibdén (és esetleg más) fóliákra, huzalokra vagy lemezekre a platinát, vagy a Pt—W ötvözete, vagy egyéb kontaktáló ötvözetet a technológia által megkívánt rétegvastagságban felpárologtatjuk. Megfelelő karakterisztikájú párologtató forrás esetén módszerünk segítségével egyszerre több, akár 10 tekercs szalagot is bevonhatunk kontaktáló-ötvöző anyaggal. Platina esetében — az anyagfelhasználás csökkentése érdekében — a párologtató forrás körül, illetve a felette elhúzott 10 szalag felett, könnyen oldódó fémfóliából, pl. alumíniumból készült ernyőt helyezünk el, amelyre lerakódik a szalagra le nem rakódó kontaktáló anyag, azaz pl. az egyébként veszteségbe menő platinamennyiség. Több párologtatás után a fólia anyaga a platináról leoldható 15 és a visszanyert platina ismételten felhasználható. A bevonás hatásfoka ily módon megközelíti a 100%-ot. Eljárásunk szerint platinával (vagy tantállal stb.) bevont molibdén szalagok tekercs formájában közvetlenül felhelyezhetők az automata hegesztő berendezések- 20 re, és így nagy sebességgel, egyenletes minőségben végezhető el a hegesztési művelet. A megoldás ugyanakkor a korábbi ismert megoldásokhoz képest jelentős anyagmegtakarítást eredményez. Az alábbiakban találmányunk konkrét megvalósitá- 25 sát írjuk le. Vízszintes elrendezésű, 600 mm átmérőjű és 1000 mm hosszúságú ~10-6 mbar nyomásra leszivattyúzható recipiensben 10 db, egyenként 260 m Mo-fóliát (0,025 x 2,5 mm) tartalmazó tekercs egyenletes párolog- 30 tatása végezhető. A párologtatás a hengerpalást közepénél elhelyezett 10 kW-os elektronágyús párologtató forrásból végezhető, 10 cm3-es tégelyből, amely folyamatos adagolóval van ellátva, az elpárologtatott anyag pótlására. A párologtatás a fóliák folyamatos, 1 m/sec sebességű húzása közben történik. A forrás és a fóliák távolsága 15 cm. A forrás és a fóliák felett a teljes párolgási karakterisztikát lefedő üvegburkolat van a párolgó fém felfogására és későbbi visszanyerésére. Fenti paraméterekkel az elektronágyús forrásból tetszőleges anyag elpárologtatható, mivel a 120 nm 5 vastagságú Pt-réteg kb. 5 kW, míg az ugyanilyen vastag Ta-réteg kb. 6,5 kW teljesítménnyel párologtatható. A párologtatásí sebesség megfigyelése az üvegharangba vágott kis ablak mögött elhelyezett kvarckristályos rétegvastagságmérővel történik mintavételes módszerrel, azaz a kristály elé helyezett blende időnkénti nyitásával ellenőrzési célból. Fenti paraméterekkel a 10 tekercs (260 m) Mo-fólia 120 nm vastag Pt-réteggel való bevonása mintegy 5 óra alatt végezhető el, beleértve a szivattyúzást és a tekercsek cseréjét is. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás a fényforrásiparban használt molibdénfóliás árambevezetők és az elektródok összehegesztésére vákuumpárologtatással felvitt kontaktáló anyagok alkalmazásával, azzal jellemezve, hogy a kontaktáló fémet vákuumpárologtatással visszük fel az árambevezetőként használt molibdén szalag vagy huzal egyik vagy mindkét felületére. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a felpárologtatott anyag előnyösen platina, vagy tantál, rénium vagy arany, rétegvastagsága 20—10 000 nm között van. 3. A 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a felpárologtatott anyag 5—100 súly% volfrámot tartalmazó volfrám-platina ötvözet. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási mód- 35 ja, azzal jellemezve, hogy a vákuumpárologtatással az anyagokat folyamatosan elhaladó szalag(ok)ra visszük fel, amelyek felett savban vagy lúgban oldódó hőálló ernyő van elhelyezve a nemesfémek visszanyerésére. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 84.604.66-4 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: BenkŐ István Igazgató
