179835. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kapcsolási elrendezés villamos alkatrészek, különösen diszkrét félvezető eszközök villamos paramétereinek mérésére
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS 179835 SZOLGÁLATI TALÁLMÁNY Nemzetközi osztályozás. \ Bejelentés napja: 1980. III. 7. (535/80) • IV G 01 R 17/02 ssa«' *** Közzététel napja: 1982. III. 29. f v Szabadalmi Tár. -ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Megjelent: 1984. III. 31. Feltalálók: Sztankó József villamosmérnök, Budapest 30%, Málik Sándor villamosmérnök, Gödfelső 30%, Pálfalvi Győző villamosmérnök, Gyöngyös 20%, Vasenszky Ferenc üzemmérnök, Budapest 10%, Székely György villamosmérnök, Budapest 10% Szabadalmas: Egyesült Izzólámpa és Villamossági Rt., Budapest Eljárás és kapcsolási elrendezés villamos alkatrészek, különösen diszkrét félvezető eszközök villamos paramétereinek mérésére 1 A találmány tárgya eljárás és kapcsolási elrendezés villamos paramétereknek referencia elven történő automatikus mérésére, különösen diszkrét félvezető eszközök esetében. A megoldás abszolútértékmérési lehetőséggel egészíti ki az automata „go — no go” jellegű mérést, továbbá az előirányzott mérési pontosság elérése érdekében a parazita átvezetések káros hatását lecsökkenti. Az ismert mérőautomaták jelentős részénél egyáltalán nincs abszolútértékmérésre lehetőség. Ilyen például az amerikai Fairchild cég gyártotta félvezető eszközök mérésére szolgáló PATT (Programable automatic Tranzistor Tester) mérőautomata, mely „go — no go” jellegű mérőkör útján dönti el az eszközről, hogy villamos paraméterei alapján jónak vagy rossznak minősül. Ismeretesek olyan mérőautomaták is, melyeknél abszolútértékmérés is lehetséges, ezek „eleve abszolútértékmérő” mérőkörök útján mérik a villamos paraméterek nagyságát. Ezen automaták meglehetősen drágák a mérőkörök viszonylagos bonyolultsága miatt. Ilyen például az angol Vackwell cég mérőautomatája is. A különböző félvezető eszközök mérésére szolgáló automatákra általában jellemző, hogy a nanoamperes vagy annál kisebb áramok megkívánt pontosságú mérése érdekében a berendezések csak szigorúan előírt hőmérsékletű és páratartalmú helyiségben működtethetők, mely követelmény költséges klímaberendezések üzemeltetését feltételezi. Tömeggyártásban történő méréskor elsődleges feladat az eszközök gyors megbízható vizsgálata arra nézve, hogy villamos paramétereik alapján jónak vagy "rossznak minősülnek-e, mely vizsgálathoz automata 2 mérőberendezéseket célszerű használni a sebesség és a megbízhatóság érdekében. Emellett azonban mind a végméréseknél, mind a gyártások közbülső fázisaiban szükséges lehet a villamos paraméterek abszolútértéké- 5 nek ismerete is. További problémát jelent elsősorban szilícium alapanyagú félvezető eszközöknél a nanoamperes, vagy annál kisebb nagyságrendű áramok mérése, mivel a mérőberendezésekben fellépő parazita átvezetések az ilyen nagyságrendű áramok mérési pontosságát 10 lerontják. A kitűzött cél tehát mind az abszolútértékmérés megvalósítására, mind a nanoamperes vagy annál kisebb áramok mérésére az eddigieknél egyszerűbb és olcsóbb mérési eljárás kidolgozása. A kitűzött célt olyan — villamos alkatrészek különö- 15 sen diszkrét félvezető eszközök villamos paramétereinek referencia elven történő, „go — no go” mérőkörös automatikus mérésére szolgáló — találmány szerinti eljárással érjük el, mely során az eszköz mindenkori mérendő villamos paramétere és egy előállított referenciajel kö- 20 zött érzékelt jelkülönbség függvényében a referenciajelet a jelkülönbség csökkentésének értelmében változtatjuk. Eniűveleteket n-szer ismételve szukcesszívapproximálást végzünk mindaddig, amíg a legkisebb jelkülönbséget elérjük, majd az ezen legkisebb jelküjönbséghez tartozó 25 abszolútértéket kijelezzük, szükség esetén tároljuk. A találmány szerinti eljárást olyan kapcsolási elrendezés segítségével valósítjuk meg, mely a mérendő eszköz munkapontját beállító generátorból, ezt megelőző digitál-analóg konverterből, referenciajelet szolgáltató ge- 30 nerátorból, ezt megelőző digitál-analóg konverterből, 179835
