179548. lajstromszámú szabadalom • Elájárás félvezető eszközök szerelési technológiájának javítására
179548 8 lazan vagy valamely etil- illetőleg metfl-kloroszüán, továbbá olyan önmagában ismert szilánvegyület, mely a felületeken adszorbeált vízzel reagálni képes, mint például a kloroszilánok vagy az oxiszilánok, továbbá olyan önmagában ismert szilánvegyület, amely hidrolizálva vagy a másik jelenlevő szilánvegyülettel reagálva molekulárisán megkötődő és összekapcsolódó, stabil elektromosan semleges réteg kialakítására alkalmas, mind pl. az etiltrietoxiszilán vagy a tetraetilortoszilikát, majd a szilán vegyül etek hatását a kezelést követő hőkezeléssel stabilizáljuk 2. Az 1. igénypont szerirífreíjárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az önmagukban ismert szilánvegyületek közül kettőnél több különböző vegyületet használunk egyidejűleg vagy ciklikusan. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilánvegyületeket oldat formájában alkalmazzuk, ahol az oldat a szilánvegyületek híg oldata, azaz az oldatban levő szilánvegyületek aránya az oldószerre vonatkoztatva 0,01—1%, az oldószer pedig valamely önmagában ismert, vízmentes oldószer, mint pl. freon, toluol vagy xylol. 4. Az 1. vagy 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy oldószene vonatkoztatva 0,01—0,5% — célszerűen 0,1% — dimetildikioroszilánt és 0,01-0,5%- célszerűen 0,1% _ etiltrietoxiszilánt tartalmazó oldatot alkalmazunk. 5. Az 1-3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás 5 foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az oldószerre vonatkoztatva 0,005%-0,l% - célszerűen 0,05% — hexametildiszilazant és 0,01-0,1% - célszerűen 0,(35% — etiltrietoxiszilánt tartalmazó oldatot alkalmazunk. 10 6. Az 1-5. igénypontok bármelyikében meghatározott eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szilános oldatot a kezelendő felületekre rácsöppentéssel, porlasztással, bemártással vagy felöntéssel visszük fel, majd 0,1—2 perc kezelési idő után 15 az oldatot lecsöpögtetjük vagy lefúvatjuk, majd az oldószer elpárolgása után a kezelt felületeket 150— -450 °C hőfoktartományban, célszerűen 180— —250 °C között 0,5—2 óráig hőkezeljük. 7. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás fogana 20 tosítási módja, azzal jellemezve, hogy a kezeléshez használt szilánvegyületeket gőz formájában visszük a kezelendő felületekre semleges vivőgáz segítségével, amely vivőgáz például száraz, tisztított nitrogén, melyet a szilánvegyületeken átbuborékoltatunk és így a 25 kezelendő felületeket a szilánvegyületek hatásának tesszük ki egyidejűleg vagy külön-külön. A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Köns-vkiadó igazgatója 83.4149 - Zxínyj Nyomda, Budapest 4
