179233. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és kazetta félvezető struktúrák olvadékfázisu opitaxiális növesztéséhez
MTA-MŰSZAKI FIZIKAI KUTATÓ INTEZETE 179233 Nemzetközi osztályozás: H 01 L 21/208 H 01 L 21/368 i 7 JLk*
/
