178938. lajstromszámú szabadalom • Infravörös színképtartományban működő gázelemű készülék
5 178938 6 bői négy felületén ötödrendű (k = 5) és négy felületén hetedrendű (k = 7) reflexiómentesítő réteget alkalmazunk. Ezek vastagságai ds = 2,967 pm illetve d7 =4,154/um. A 2. ábrán feltüntettük az ötödrendű reflexiómentesítő réteggel bevont egy Ge felület 5 transzmisszióját a X hullámhossz függvényében (A görbe) a hetedrendű reflexiómentesítő réteggel bevont egy Ge felület transzmisszióját (B görbe), valamint (AB)4 értékeket, melyek a négy optikai ablakon kiképzett összes (nyolc) réteg transz- 10 misszióját mutatják Ge felületen (D görbe) és Si felületen (C) görbe. Mint az a 2. ábráról látható a Xm mérési hullámhosszon az eredő transzmisszió értéke mindkét esetben közel egy, míg a C02 Xh zavaró hullámhosszainak mindegyikén 0,1 érték alá 15 csökkent, amellett, hogy az egyéb hullámhosszúságú sugarakra, melyek a detektort vagy a berendezést melegítenék, a transzmissziós értéket alacsonyan lehet tartani. A Si2N4 réteg mechanikai és kémiai stabilitása 20 a jó optikai tulajdonságok mellett jobb mint az ismert készülékekben használt CaF2 optikai ablakok stabilitása és a reflexiómentesítő rétegek Xm mérési és Xh zavaró hullámhosszakra a vastagságok variálásával optimalizálva alakíthatók ki. További 25 előny, hogy a találmány szerinti gázelemző készülékben a szelektív detektornál olcsóbb detek torok is alkalmazhatók. Szabadalmi igénypontok: 1. Infravörös sugárzási tartományban működő egy vagy két fényutas gázelemző készülék, melynek széles hullámhossztartományban sugárzó infravörös sugárforrása, a mérendő gáz befogadására alkalmas gázküvettája és infravörös sugárzást észlelő detektora van, melyek mindegyike széles infravörös színképtartományban fényáteresztő optikai ablakkal van lezárva, azzal jellemezve, hogy az infravörös sugárforrást (1), a referencia és|vagy mérőküvettát (3R, 3M), valamint a szelektív detektort (4) lefedő optikai ablakok (7) anyaga szilícium vagy germánium és mely optikai ablakok (7) felületein Si2N4 anyagból azonos és/vagy eltérő vastagságú reflexiómentesítő rétegek vannak kiképezve. 2. Az 1. igénypont szerinti gázelemző készülék kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a szelektív detektor (8) falán, a belépő optikai ablakkal (7) szemben, az infravörös színképtartományban jó hatásfokkal fényt áteresztő ablak(ok) (9) van(nak) elrendezve. 2 rajz, 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 824668 - Zrínyi Nyomda, Budapest 3
