178660. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés fedőrétegnek tükröző felületre való felhordására
5 178660 6 kopásállósága növekedjék Si-0 kötések keletkezésével,- a kiindulási vegyidet gőzeivel egyidőben nemesgázvivő, például argon, nitrogén stb. hozzá vezetése, ami azt a lehetőséget biztosítja, hogy a kiindu- 5 lási vegyület gőzeinek parciális nyomását csökkentsük és ezeket a vegyületeket enyhébb köriimények között hordjuk föl jobb optikai tulajdonságok elérése érdekében. Az eljárás foganatosítására szolgáló berendezésnek 10 vákuumkamrája, benne fémelgőzölögtető, a parázsfénykisülés létrehozására elektróda, a munkadarabok - amelyeken a fedőréteget létrehozzuk - befogadására rögzítőeszköz, és vákuum létrehozására a vákuumkamrával vákuumvezetékekkel összekötött15 vákuumegysége, valamint gáz alakú szerves kiindulási vegyületnek a vákuumkamrába való bevezetésére adagolója van, a találmány szerint a munkadarabok elektródaként, vannak bekötve, egymással egytengelyűén vannak elhelyezve és a vákuumkamra házával 20 szemben szigetelve varrnak. Az elektródának a vákuumkamra falával szembeni szigetelése révén a védőréteg anyaga psak kevéssé szennyezi a kamra falát és így a kiindulási vegyületfelhasználás is csökken. 25 A berendezésnek két kiviteli változata van: a munkadarabok nem mozgatható elrendezésével és a vákuumkamrában forgó munkadarabokkal. Izzóelektróda hiánya (ilyenként fémelgőzölögtetőt használunk) adja azt a lehetőséget, hogy védőréteg fel- 30 hordásának folyamatát ne csak fémezett gyártmányokon, például fényszóró reflektorokon (ekkor a felhordott fémréteg szolgál egyik elektródaként), hanem az áramot vezető anyagú felületen, például polírozott alumínium, polírozott acél stb. 35 reflektorokon is elvégezzük. A gáz alakú szerves kiindulási vegyületnek a munkadarabra való egyenletes rávezetésére szükséges a berendezést olyan elosztóval ellátni, amely az egyik esetben kúp alakú, csúcsa pedig a kiindulási vegyüle- 40 tét a kamrába vezető adagoló csőcsonkjának beeresztőnyüása felé van fordítva. A másik esetben nyílásokkal ellátott csövek rendszere, amelynek tengelye merőleges minden cső tengelyére, a nyílások átmérője pedig a gáz alakú kiindulási vegyület beve- 45 ütésének irányába növekszik. A továbbiakban a találmányt kiviteli példák ^Pján a rajzra való hivatkozással világítjuk meg. A rajzon az 50- 1. ábra a berendezés teljes nézete, a- 2. ábra a vákuummetallizáló készülék teljes "ázete kitör éssel, a- 3. ábra a fedőréteg felhordására való berendezés metszete. 55 ** alábbiakban példákon mutatjuk be a fedőré“fcnek tükröző felületekre való felhordását szolgáló Járás foganatosításának néhány lehetőségét. , 60 1- példa Kiindulási vegyületként védőréteg felhordására trogéntartalmú szilíciumorganikus vegyületet, hexametüdiszilacánt (CH3)3Si-NH-Si(CH3)3 alkal- 65 mázunk. A hexametildiszilacán gőzök parciális nyomása 10 mmHg. Ezenkívül argon nemesgázvivőt alkalmazunk. A maradék nyomás a vákuumkamrában 10'1 mmHg. Az áramsűrűség az elektródakisülésben 0,2 mA/cm2, a frekvencia 20 kHz, a feszültség 400 és 500 V között. A fedőréteg felhordása 2 percig tart. 2. példa Tükröző alumíniumbevonat felhordása után a vákuumkamrába kiindulási vegyületként dékánt, az alkálisor szénhidrogénjét (C10Hí2) vezetünk be. 2 • 10_1 és 2,5 -,10_í mmHg közötti gőznyomás, 450 és 550 V közötti feszültség és 1 kHz frekvencia mellett a védőréteg lerakódása parázsfénykisülésben 30-40 másodperc alatt lezajlik. A kisülés áramsűrűsége 0,5 mA/cm2. 3. példa Tükröző alumíniumbevonat felhordása után a vákuumkamrába hexametüdiszilacánt vezetünk be. A védőréteg lerakódása 1 mmHg gőznyomás, 400 és 450 V közötti feszültség, a kisülés 0,1 mA/cm2 áramsűrűsége és 40 kHz frekvencia mellett 30 másodpercen belül történik. 4. példa Kiindulási vegyületként hexametüdiszilacánt alkalmazunk. A védőréteg lerakódása a kamrában 10-1 mmHg gőznyomás, 388 és 420 V közötti feszültség, 50 Hz-es frekvencia, a kisülés 0,01 mA/cm2 áramsűrűsége mellett 2 percen belül történik. 5. példa Kiindulási vegyületként hexametüdiszilacánt alkalmazunk oxigén adalékkal. A hexametüdiszüacán parciális nyomása 5 • 10”2 mmHg, az oxigéné 5 • 10"2 mmHg. A védőréteg lerakódása 400 és 500 V közötti feszültség, a kisülés 0,1 mA/cm2 áramsűrűsége és 1 kHz frekvencia mellett történik 1,5 másodpercen belül. 6. példa A védőréteg 10"1 mmHg hexametüdiszüacán gőznyomás 400 és 420 V közötti feszültség, 0,1 mA/cm2 áramsűrűség és 10 kHz frekvencia mellett 1 percen belül lerakódik. A réteget előáüítása után, parázsfénykisüléssel, vízgőz jelenlétében, a következő feltételek meüett kezeljük, vízgőznyomás 1 • 10"1 és 1,5 • 10“* mmHg között, feszültség 350 és 450 V között, a kisülés áramsűrűsége 0,1 és 0,2 mA/cm2 között. A kezelés 1 percig tart.
