178240. lajstromszámú szabadalom • Nagystabilitású vékonyréteg ellenállás vagy vékonyréteg ellenállásból kialakított áramkör
5 178240 6 az ismert kiviteli példáknál, azonos szinten tartott stabilitás adatok mellett. További előny származik abból, hogy a felvitt réteg nem növeli az ellenállások és az ellenállásokból kialakított vékonyréteg áramkörök méreteit, ezzel jelentősen kielégítve a miniatürizálási igényeket. További előny, hogy az általunk javasolt rétegek kialakítása csökkenti a technológiai műveleti lépések számát. E tényből következik, hogy az ily módon előállított termékek előállítása gazdaságosabb a napjainkban forgalomban levő kiviteli példákénál. A fentieken kívül az ily módon előállított ellenállások és ellenállásokból kialakított vékonyréteg áramkörök utólagos értékbeállítására lehetőség nyílik anélkül, hogy a védőréteg hatékonysága tönkremenne. Szabadalmi igénypontok 1. Nagystabilitású vékonyréteg ellenállás vagy vékonyréteg ellenállásokból kialakított áramkör, azzal 5 jellemezve, hogy a vékonyréteg ellenállás vagy a vékonyréteg ellenállásokból kialakított áramkör fölött 25 °C-on max. 10-21 cm2/sec gázdiffúziós állandóval rendelkező szilíciumoxid, szilíciumnitrid, tantáloxid, vagy üvegből álló védőréteg van elhelyezve. 10 2. Az 1. igénypont szerinti vékonyréteg ellenállás vagy vékonyréteg ellenállásból kialakított áramkör kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a dififúziógátló védőrétegének 70—450 °C üzemi hőmérséklettől függően a minimális védőrétegvastagsága 0,1—5 fxm-ig 15 terjed. A kiadásírt felel: b Közgazdasági ás Jogi Könyvkiadó igazgatója 83.36.664 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató
