177856. lajstromszámú szabadalom • Alapelemekből felépíthető optomechanikai rendszer optikai elemek több szabadságfokú mozgatására

61 41 59

£

c3

&

RBC

m.

16.ábra

177856

ßo

J------------- J\

66

—r?

z

/Ç Rt A

•i—

y

pr

v ! y

)

[

. F>HD7 ßl

20.ábra

/

/

/

/

/

1_______

/ ✓/ /

50

,51

.51

M

21.ábra

50

X

22. ábra