177450. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fémréteg előállítására legalább 70 súly% alumíniumoxidot tartalmazó kerámiák, főként integrált áramköri hordozók felületén
11 177450 12 hőmérsékleten, alkalmasan megválasztott sablonban egymáshoz sajtoljuk és a keletkezett rétegtok-idomtesteket korund csónakba helyezzük. A csónakot 1 °C/perc felfűtési sebességgel 400 °C hőmérsékleten, oxidáló atmoszférában 2 órán át hevítjük. A 5 szerves kötőanyagok eltávolítása után a csónakot az előégetett darabokkal 5 °C/perc sebességgel szobahőmérsékletre hűtjük, majd védőgázas izzító kemencében 5—10 °C/perc felfűtési sebesség mellett 1600 °C hőmérsékleten 2 órán át zsugorítjuk. A 0 továbbiakban az 1. példánál ismertetett módon járhatunk el. A nyert rétegtdc szerkezetek fizikai jellemzői: Szakító szilárdság Vákuumállóság Hőlökésállóság Szigetelési ellenállás közvetlen beégetés után öregítés után 5,9 kg/cm215 97,9% 345 °C 185 Mohm 290 Mohra 20 3. példa 200 g molibdén port, valamint az 1. példánál 25 leírtak szerint előállított kerámia komponensből 0,6g-ot kolloid malomban 8 óra hosszan szárazon együtt őriünk, mindaddig, amíg az őrlemény átlagos szemcsézettsége 0,6 pm alá nem csökken. Az őrleményhez butil-acetát és aceton 1:1 arányú elegyé- 30 vei készített 70 g hígítót, továbbá butil-acetát oldószerrel készített 5 súly%-os nitrólakk oldatból 30 g-ot a malomba hozzámérünk. A szuszpenziót 3 órán át homogenizáljuk, majd selyemszitán keresztül szűrjük. Á kapott szürkésfehér-fekete, nem 35 ülepedő keveréket még 200 ml 1 :1 arányú aoeton-butil-acetát eleggyel hígítjuk, majd rázógéppel homogenizáljuk. A kapott szuszpenziót szórópisztollyal 92 súly% 40 alumínium-oxidot tartalmazó hordozó felületre felvisszük, majd vagy az 1. sz. vagy a 2. sz. példákban leírtak szerint fémréteget alakítunk ki. Zsugorított kerámia hordozó esetén az izzítású hőmérsékletet 1320°C-ra, nyers kerámiahártya hordozó esetén pedig 1550 °C-ra állítjuk. A nyert fémrétegek fizikai jellemzői: Szakító szilárdság (kg/mm1 2) 6,05 5,9: Vákuumállóság (%) 98,1 79,9 Hőlökésállóság (°C) 357 349 Szigetelési ellenállás (Mohm-ban) közvetlenül beégetés után 215 190 öregítés után 310 285 Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás fémréteg előállítására legalább 70 súly% alunriniumoxidot tartalmazó kerámia termékek felületén, főként integrált áramkör hordozók, állványok, tokszerkezetek védőrétegének kialakításához, mely eljárás során a kerámia felületre paszta vagy szuszpenzió formájában fém komponensként a kerámia tömörre zsugorodási hőmérsékleténél magasabb olvadáspontú fémet, főleg molibdént, volfrámot, titánt, palládiumot, platinát vagy ezek szükség szerinti keverékét, és kerámia komponensként ahimínium-oxid, szih'cium-dioxid és magnézium-oxid tartalmú keveréket viszünk fel, majd a felvitt pasztát vagy szuszpenziót hőkezeléssel rögzítjük azzal jellemezve, hogy a kerámia felületére 99,5—99,9 súly% fémkomponensből és 0,5—0,1 súly% kerámia komponensből álló keveréket viszünk föl, és a kerámia komponens 20—30súly% alumínium-oxidot, 40—50súly% szilídum-dioxidot, 10-20 súly% magnézium-oxidot és 1—8 súly% kalcium-oxidot tartalmaz. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szuszpenziót vagy pasztát 0,8 jiim-es vagy finomabb szemcséjű kerámia komponenst tartalmazó keverékkel készítjük el. 1 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 824409 - Zrínyi Nyomda, Budapest
