176991. lajstromszámú szabadalom • Berendezés tárgyak helyi galvanikus bevonására
MAGTAB SZABADALMI 176991 NÉPKÖZTÁRSASÁG LEÍRÁS Nemzetközi osztályozás: C 25 D 19/00 Bejelentés napja: 1977. VII. 28. (LU-223) C 25 D 3/48 Elsőbbsége: 1976. VII. 28. (2387555) Szovjetunió / ß'" . , ORSZÁGOS Közzététel napja: 1980. XII. 27. TALÁLMÁNYI Vw i a- — HIVATAL Megjelent: 1982. V. 31. Lukyanchikov Viktor Egorovich mérnök, Baidalinov Ilya Vladimirovich mérnök, Selivanov Mikhail Yakovlevich mérnök, Moszkva, Szovjetunió Berendezés tárgyak helyi galvanikus bevonására 1 A találmány a galvanotechnika területén elsősorban tárgyak helyi galvanikus bevonására alkalmas berendezésre vonatkozik. A berendezés előnyösen alkalmazható félvezető eszközök és mikroáramkörök gyártásánál elektromos érintkezők arannyal 5 vagy más nemesfémekkel történő bevonására, hogy az érintkezési helyeken csak stabil, kisértékű és környezeti befolyások hatására nem változó ellenállások keletkezzenek. A bevonat felviteléhez a tárgyat egy áramforrás 10 negatív pólusához csatlakoztatják és folyamatosan egy elektrolittal tartják érintkezésben. Az elektrolittól előzetesen elszigetelik azokat a helyeket, amelyeket nem kívánnak kezelni. Az elektrolit azon fémionjai, amelyek az elektrolitnak az anód- 15 dal való érintkezésekor pozitív töltést kapnak, a tárgy felületén kiválnak. A leírt eljárás termelékenységének fokozására irányuló kísérletek során a tárgyakat folyamatosan a kezelési zónába továbbították, ez azonban nehéz- 20 kés volt, mivel a tárgyakat részben szigetelni kellett az elektrolittal szemben, és ezért a tárgyakat a kezelés folyamán szorosan a szigetelő betétekre kellett szorítani. A futószalaggal működő, helyi galvanikus bevo- 25 násra szolgáló ismert gépek, amelyek lehetővé teszik egy hosszú munkadarab különböző felületrészeinek megmunkálásakor a tárgy átállításához szükséges improduktív idő csökkentését, a nemesfémekkel való bevonás területén alig alkalmazhatók 30 2 az irreverzibilis elektrolitveszteségek miatt, amelyek elkerülhetetlenül fellépnek a frissen bevont tárgyak elmozditásakor, valamint a kinematikai bonyolultság és az alkalmazott fémek következtében jelentkező viszonylag nagy költségek miatt. Ismeretes továbbá olyan berendezés tárgyak helyi galvanikus bevonására (1 393 138 számú angol szabadalmi leírás), amely egy galvanikus egységet, amelynek ürege az elektrolitot bevezető rendszerrel van összekötve, továbbá egy felső falat a megmunkálandó tárgyak elhelyezésére, és egy szorítószervet tartalmaz, amely a galvanikus egység fölött mozgathatóan van elhelyezve, és kinematikailag egy erőhengerként kiképzett mechanizmussal van csatolva, amely a függőleges mozgást biztosítja. A galvanikus egység felső falának külső felületén a tárgyak alsó felületének megmunkálási zónáját határoló elem, továbbá a tárgy beállítását szolgáló elemek vannak elhelyezve. A szorítószerv alsó felületén tömítőtárcsák vannak elhelyezve. A berendezés tartalmaz egy anódot, amely a tárgy felé áramló elektrolit útjában van elhelyezve, és esetleg a galvanikus egység fúvókáit képezi az elektrolit bevezetésére. A berendezés katódjaiként maguk a kezelendő tárgyak szolgálnak. A galvanikus tömb felső falában csatornák vannak kialakítva, amelyeken az elektrolit a tárgyak alulról le nem fedett felületrészeihez áramlik. 176991