176861. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető eszköz előállítására
9 176861 10 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás félvezető eszköz előállítására, amelynek félvezető testje, valamint ennek egyik felületén első mintázat van, amelynek egyes részei vezető sávokból álló második mintázathoz elektromosan csatlakoznak, azzal jellemezve, hogy az első mintázat kialakítása után egy közbenső réteget (14) viszünk fel a teljes felületre (2), amely közbenső réteg (14) a második mintázat vezető sávjaihoz (7, 8, 9) jó adhéziós kötést biztosító, és annak anyagához képest szelektíven maratható, elektromosan vezető anyagból van, ezután a második mintázat vezető sávjait (7, 8,9) a közbenső rétegre (14) felvisszük, majd a közbenső réteget (14) szelektív maratásnak vetjük alá, melynek során a második mintázat marató maszkként szolgál, és a második mintázat vezető sávjai (7, 8, 9) alatt a közbenső réteget (14) alámaratással teljesen eltávolítjuk, miközben a csatlakozások (10, 11, 12) helyén a második mintázat vezető sávjai (7,8,9) alatti közbenső réteget (14) alámaratással csak részben távolítjuk el, miáltal az első mintázat két különálló részét a második mintázatnak legalább egy részével vezetően összekötjük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az első mintázatot szintén vezető sávokból (3, 4, 5, 6) álló vezető mintázatból alakítjuk ki. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a legfelső vezető szintvezető sávjain (7, 8, 9), a legalsó vezető szint sávjaival (3. 4, 5, 6) történő összekötések helyén kiszélesedéseket (19) alakítunk ki, amelyek alatt a közbenső réteg (14) anyagát a maratás során csak részben távolítjuk el. 4. A 3. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a legfelső vezető szint vezető sávjain, (7, 8, 9) a legalsó vezető szint sávjaival (3, 4, 5, 6) történő összekötések helyén olyan kiszélesedéseket (19) alakítunk ki, amelyek a legfelső vezető színt vezető sávjainak (7, 8, 9) a keresztezések helyén levő szélességének legalább kétszerese. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a közbenső réteget (14) nikkelből alakítjuk ki. 6. Az 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy legalább az egyik vezető szint vezetőmintázatát alumíniumból alakítjuk ki. 7. A 6. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy legalább az egyik vezető szint vezető mintázatát kettős rétegből alakítjuk ki, amelyek közül az egyik réteg aranyból, a másik réteg a platina és titán csoportból kiválasztott fém. 5 10 15 20 25 2 lap rajz 8 ábrával A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 81.1432.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató 5
