176442. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés gáznyomás folytonos méréséhez
176442 MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1977. VI. 08. (WI—285) Nemzetközi osztályozás: G 01 L 9/00 Német Demokratikus Köztársaság-beli elsőbbsége: 1976. VI. 08. (WP G 01 1/193 241), (1—3., 8, 10—12. igénypontok) ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL Közzététel napja: 1980. VIII. 28. Megjelent: 1981. VII. 31. Feltalálók: Szabadalmas: Dr. Hartung Claus oki. fizikus, Berlin, Jurgeit Rainer fizikus, Berlin, Akademie der Wissenschaften Német Demokratikus Köztársaság der DDR, Berlin, Német Demokratikus Köztársaság Eljárás és berendezés gáznyomás folyamatos méréséhez 1 A találmány tárgya eljárás gáznyomás folyamatos mérésére, amikor is a mérendő gáz teréből egy részt leválasztunk. Tárgya továbbá az eljárás foganatosítására is alkalmas berendezés, amelynek a mérendő gázzal kitöltött háza és mérőjelet továbbító 5 kimenete van. A találmány szerinti eljárás és berendezés újszerű módon biztosítja a gáznyomás nagy pontosságú mérését, különösen a vákuumtechnikai szükségletekre. A gáznyomás mérésére szolgáló ismert eljárások 10 és berendezések alapvetően két csoportba oszthatók. Az egyik csoportba a közvetlenül a gáznyomást mérő, míg a másik csoportba a gáznak a nyomástól függő paramétereit követő eljárások és eszközök tartoznak. 15 Az első csoportba tartozó megoldások előnye, hogy azonos állapotegyenletekkel jellemzett mérendő gázok esetén működésük a gáz fajtájától független értékeket szolgáltat. Ezek a megoldások szolgálnak a membrános és dobozos manométerek, 20 vagy a folyadékmanométerek alapjául. Az előzőekben a gáznyomás egy membránt deformál és a deformáció nagyságát mérik. A folyadékmanométerekben a mérendő nyomás folyadékot hoz mozgásba és a folyadékszint változása alapján a 25 mérés elvégezhető. A gáznyomást közvetlenül mérő eszközök vagy nehezen gyárthatók és zéruspont beállításuk nehézkes, pontosságuk korlátozott (membrános és dobozos manométer), vagy pedig a folyamatos mérés 30 2 rendkívül nehézkes a beálló gőznyomás miatt (folyadékmanométer). A második csoportba tartozó legfontosabb megoldások a következők. A gáz hővezetőképességének mérése (Pirani-manométer), a gázkisülés áramerősségének mérése (Penning-manométer), a gáz súrlódási tényezőjének mérése (frikciós vagy dörzsmanométer), továbbá a gáz ionizációs fokának mérése (ionizációs manométer). A gáznyomást közvetett módon, a gáz paraméterei alapján mérő eszközök az első csoportba tartozókhoz viszonyítva hátrányosabbak abban a tekintetben, hogy a mért érték a gáz fajtájától nagyobb mértékben függ. Ezzel szemben segítségükkel nagyobb pontosság érhető el és a nyomásértékek viszonylag széles tartományában alkalmasak a mérés elvégzésére. Ezzel kapcsolatban azonban az a hátrányuk, hogy a mérendő paraméter és a gáznyomás között nem lineáris összefüggés áll fenn. A Pirani-manométer a nem túl széles mérési tartományban jó pontosságot biztosít. A Penning-manométer a gázkisülés egyenetlen volta miatt csak korlátos pontosságot tesz lehetővé, míg az ionizációs manométer csak a Ids nyomásértékek tartományában használható megbízhatóan, mivel nagyobb nyomásokon a mérendő gáz felbomlásának valószínűsége nagyobb. A találmány célja olyan eljárás és berendezés létrehozása gáznyomás mérésére, amely a gázfajtájától független, közvetlen mérést tesz lehetővé, 176442
