176381. lajstromszámú szabadalom • Huzalrögzítő szerkezet termokompressziós berendezésekhez
5 176381 6 láris 5 furat falához a termokompressziós 21 huzalt, hogy a huzalon jelentős deformáció nem jön létre, de a kapillárison való további, a 26 nyomófelület irányában történő áthúzása az áthúzott huzalrész szakadása miatt nem lehetséges. Az előkészítő műveleteknél segítségünkre van a 6 betekintő nyílás, melyen keresztül mikroszkóppal megfigyelhetjük a tű és a huzal helyzetét. A huzalrögzítő szerkezet működtetése tulajdonképpen a 13 vákuumelszívó csonk 14 furatába kapcsolt vákuum szívóerő be- és kikapcsolásával történik. Ha a huzal helyzetét rögzíteni akarjuk, a vákuumot kikapcsoljuk, ha pedig a huzalt át akarjuk húzni a 4 kapillárison, a vákuumot bekapcsoljuk. A huzalrögzítő szerkezettel ellátott termokompressziós berendezéssel kis (100 mikronnál kisebb méretű) felületre termokomprimálhatunk vékony (5—20 mikron) átmérőjű huzallal. Ez a módszer különösen a germánium mesa AF106, AF139, AF 239 stb. tranzisztor típusoknál előnyös, ahol a kontaktus felületek mérete és egymástól való távolságuk néhányszor 10 mikron. A termokompressziós kötés kialakításánál (a művelet szemléltetése az 1. ábrán) all súlyt olyan helyzetbe állítjuk, hogy a mérlegtengely körül elmozdulva a 4 kapillárist néhány gramm (min. 1 g) emelőerővel tudjuk egyensúlyban tartani. Ez az erő lesz tulajdonképpen a művelet folyamán a termokompressziós nyomás. Ezután a művelet megfigyelő mikroszkópot úgy állítjuk be, hogy a 4 kapilláris végénél levő 26 nyomófelületet látjuk élesen. A kötés képzés előtt a termokompressziós berendezés önmagában ismert fűtő egységével megfelelő hőmérsékletűre fűtjük a 4 kapillárist, és a 23 tartóvázat, mely az összekötendő alkatrészeket tartalmazza. Ezután a termokompressziós bérén - dezés önmagában ismert manipulátora segítségével 23 tartóvázat úgy mozgatjuk, hogy a kötéshelyek a 4 kapilláris 26 nyomófelülete alá kerüljenek. Példánk esetén először a 26 nyomófelület alatt levő 21 huzal csonkja alá helyezzük a 24 aktív félvezető elemet, a huzalrögzítő szerkezetet működésbe hozva rögzítjük a 21 huzalt, majd a 23 tartóváz függőleges irányú emelésével a kapilláris nyomást ellensúlyozva elvégezzük az első kötést, ezután kikapcsoljuk a huzalrögzítő berendezést, a 21 huzal 4 kapillárison való áthúzásával 26 nyomófelület alá helyezzük a 25 kivezető elektródát, a huzalrögzítő szerkezet ismételt működésbe hozásával rögzítjük a 21 huzalt, a 23 tartóváz ismételt függőleges emelésével kialakítjuk a második kötést. Ha több kötést nem kívánunk végezni, következik a 21 huzal folyamatosságának megszakítása. Ez úgy történik, hogy a huzalrögzítő szerkezetet kikapcsolva a 25 kivezető elektródát elmozdítjuk 26 nyomófelület alól, és ezalatt 21 huzalt rövid szakaszon áthúzzuk a 4 kapillárison. Ezután a 5 huzalrögzítő szerkezetet ismét működésbe hozzuk, a 21 huzalt rögzítjük, majd a 23 tartóvázon levő egységet a szerkezet 1. ábrán ábrázolt síkjában az F erő irányában mozgatjuk. Ekkor a 21 huzal fémalkatrészekkel nem érintkező súrlódási pontok 10 közötti SP-SP szakasza a húzás következtében megnyúlik és elszakad. Gyakorlati eredményeink mutatják, hogy a szakadás mindig a 21 huzal SP—SP szakaszának közepén történik, ha ezt a szakaszt megfelelően rövidre (pl. a huzalátmérő 15 5—10-szeresére) választjuk. Az SP—SP szakaszt anyagtakarékossági szempontból is célszerű rövidre választani, mivel a szakadás után visszamaradó huzalcsonkok kihasználatlanok. Szakítás után a 21 huzalt a 4 kapillárisban rögzítve tartjuk és a műve- 20 letet tetszés szerint ismételhetjük. Szabadalmi igénypontok: 25 l- Huzalrögzítő szerkezet a félvezető technikában alkalmazott termokompressziós berendezésekben a termokompressziós huzal meghatározott helyzetben történő rögzítéséhez, amelynek a huzalt időlegesen a rögzítési helyet képező (aktív fél- 30 vezető) elemfelülethez szorító, manipulátorral mozgatott keményfém nyomóéke van, azzal jellemezve, hogy a nyomóékben a huzalt (21) megvezető, fokozatosan szűkülő furattal (5) ellátott V-alakú kapillárisban (4) elhelyezett, a huzalt (21) a furat 35 (5) falához szorító, célszerűen elektrolitikus marással hegyezett keményfém anyagú, előnyösen wolframból álló tű (17) van elhelyezve, amelynek szabad végére vákuumtér ellenében előfeszített rugóval (20) terhelt dugattyúval (15) ellátott munkahenger 40 (9) van csatlakoztatva. 2. Az 1. igénypont szerinti huzalrögzítő szerkezet kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a nyomóéket képező kapilláris (4) szerkezeti anyaga keményfém vagy keményfémötvözet, és a V-alakú 45 furatos (5) kapilláris (4) hossztengelyére merőlegesen síkra csiszolt vékonyabb végének egy része a huzal (21) megnyomására alkalmas, három oldalán síkokkal, negyedik oldalán pedig részben a furat (5) körívével, részben síkkal határolt nyomófelü- 50 lettel (26) van ellátva. 3. A 2. igénypont szerinti huzalrögzítő szerkezet kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a kapillárison (4) a huzal (21) jelenlétének vizuális ellenőrzésére betekintőnyílás (6) van kiképezve. 2 rajz, 4 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 814145 - Zrínyi Nyomda, Budapest 3
