175284. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezsé villamos vezető alapra felvitt, villamosan vezető rétegek vastagságának meghatározására
5 175284 6 végrehajtott elektrokémiai reakcióhoz szükséges töltés mennyiségének mérése útján történő meghatározására, azzal jellemezve, hogy a mérendő vastagságú réteggel bevont mintára (1) ellenelektródot (5) és megfelelő elektrolitot helyezünk, az elektródok között egyenáramú áramgenerátorból (2) szabályozott erősségű egyenáramot, valamint váltakozóáramú áramgenerátorból (3) arra szuperponált váltakozóáramot bocsátunk át, a minta (1) és az ellenelektród (5) közötti feszültségkülönbséget feszültségérzékelővel (6) mérjük, és egy megadott feszültség elérésekor kétáramkörös kapcsolóval (4) az elektrolizáló áramot és a kijelző (7) működését egyidejűleg megszüntetjük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a feszültségérzékelővel (6) a minta (1) és az ellenelektród (5) között jelentkező egyenfeszültséget mérjük. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a feszültségérzékelővel (6) a minta (1) és az ellenelektród (5) között jelentkező váltakozófeszültséget mérjük. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a feszültségérzékelővel (6) a minta (1) és az ellenelektród (5) között jelentkező váltakozófeszültségnek szelektív módon az egyik harmonikus komponensét mérjük. 5. Berendezés villamosán vezető alapra felvitt, villamosán vezető rétegek vastagságának a meghatározandó vastagságú réteg ismert felületű részletével végrehajtott elektrokémiai reakcióhoz szükséges töltés mennyiségének mérése útján történő meghatározására, azzal jellemezve, hogy a mérendő vastagságú réteggel bevont mintához (1) egyenáramú áramgenerátor (2) egyik kivezetése, az egyenáramú áramgenerátor másik kivezetéséhez váltakozóáramú áramgenerátor (3) egyik kivezetése, a váltakozó- 5 áramú áramgenerátor (3) másik kivezetése kétáramkörű kapcsoló (4) első áramkörén keresztül az ellenelektródhoz (5) csatlakozik, az ellenelektródhoz (5) feszültségérzékelő (6) egyik, a mintához (1) a feszültségérzékelő (6) másik bemenete van 10 kapcsolva, míg kimenete a kétáramkörű kapcsolóhoz (4) csatlakozik, a kétáramkörű kapcsoló (4) második áramköre a kijelző (7) áramkörébe van kapcsolva. 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mintához (1) 15 egyenáramú áramgenerátor (2) és váltakozóáramú áramgenerátor (3), valamint feszültségérzékelő (6) egyik kivezetése csatlakozik, az egyenáramú áramgenerátor (2) és a váltakozóáramú áramgenerátor (3) másik kivezetése kétáramkörű kapcsoló (4) 20 egyik kivezetéséhez, a kétáramkörű kapcsoló (4) másik kivezetése a feszültségérzékelő (6) másik kivezetéséhez és az ellenelektródhoz (5) csatlakozik, a kétáramkörű kapcsoló (4) második áramköre a kijelző (7) áramkörébe van kapcsolva. 25 7. Az 5. vagy 6. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a feszültségérzékelő (6) egyenfeszültség érzékelő. 8. Az 5. vagy 6. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a feszültség-30 érzékelő (6) váltakozófeszültség érzékelő. 9. Az 5. vagy 6. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a feszültségérzékelő (6) szelektív váltakozó feszültség érzékelő. 1 rajz. 2 ábra A kiadásért felel: a Közgazdasági cs Jogi Könyvkiadó igazgatója 804685 - Zrínyi Nyomda. Budapest 3
