174472. lajstromszámú szabadalom • Eljárás néhány mikronos méretű ábrák kialakítására vas-nikkel rétegen
174472 5 3. példa Ha a feladat 20—25°-os falú ábrák kialakítása, 85% H3PO4 100 ml 75% HNOj 6 ml 5 keverékben 60 °C-on 3 percig maratva a fenti hajlásszögű falmeredekséget kapjuk. 4. példa 10 Feladat: 45°-os hajlásszögű fallal rendelkező ábrák kialakítása 85% H3PO4 100 ml 75% HNO3 4 ml 15 keverékben 60 °C-on 4 percig maratva az említett falmeredekség adódik. Mint az az előzőekből kitűnik, a leírt marószer rendkívül egyszerű módon, olcsón, igen kicsiny, néhány //m-vonalvastagságú permalloy ábrák mérethű ki- 20 alakítását teszi lehetővé. A fotolitográfiánál vékony lakk is használható (a lakk vastagságát lefelé, a lakk folytonossága korlátozza), így a kémiai maratás útján nyert ábrák végső felbontása összemérhető az ionmaratással nyert ábrákéval. Mindezeken felül a kialakuló 25 ábra falának hajlásszöge az ábrák túlmaratásával, illetve a HNO3 komponens arányának változtatásával szabályozható. A kémiai maratás egyszerűsége, gyorsasága, olcsósága révén a sorozatgyártásban is alkalmasabbnak tűnik, mint az ionmaratás. 30 6 Szabadalmi igénypontok: 1 • Eljárás néhány mikronos méretű ábrák kialakítására vas-nikkel rétegen oly módon, hogy a fémrétegre fotolakkot viszünk fel, amelyet sablonon át exponálunk, az ábrát előhívjuk és beégetjük, ezután salétromsav és foszforsav eleggyel marunk, azzal jellemezve, hogy az előzőleg elkészített marószert, mely 100 térfogatrész 85%-os H3P04 és 0,2-6 75%-os térfogatrész HNO3 keveréke, a vas-nikkel vastagságától függően 40—90 °C-ra felmelegítünk, majd mintatartóba helyezett szeletekre öntjük, a szeleteket állandó mozgatás közben kiszámított ideig maratjuk és a maratást vizes öblítéssel zárjuk. 2. Az 1. igénypontban meghatározott eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy a kimart ábrák falának hajlásszögét túlmaratással csökkentjük. 3. Az 1. igénypontban meghatározott eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy a HNOj arányának növelésével a fal hajlásszögét csökkentjük. 4. Az 1. vagy 3. igénypontban meghatározott eljárás foganatosítási módja azzal jellemezve, hogy 100 térfogatrész 85%-os H3P04-ből és 2 térfogatrész 75%-os HNC^-ból álló marószert alkalmazunk és ekkor a marási sebességet 40-90 °C tartományban 120-12 000 Á/perc intervallumban változtatjuk. A kiadásért felel: A közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 80 2068 — Pátria Nyomda
