174175. lajstromszámú szabadalom • Eljárás vegyület vékonyrétegek előállítására
13 174175 14 Szabadalmi igénypont: Eljárás vegyület vékonyréteg előállítására valamely felületen történő növesztéssel a vegyület kémiai elemeiből, azzal jellemezve, hogy a felületet, előnyösen üveglemezt egymást követően, felváltva reagáltatjuk az egyik majd másik elem gőzfázisú atomjaival vagy molekuláival c.y módon, hogy a reagáló gőz parciális nyomásának és a kölcsönhatás idejének megválasztásával a felületi atomos réteg atomjainak számát meghaladó számú atomot ütköz- 5 tétünk a felülethez, olyan hőmérsékleten, amelyen a felület és a gőzfázisú atomok a gőz lecsapódása nélkül reagálnak. 2 rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 794490 - Zrínyi Nyomda, Budapest 7
/
