173621. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés félvezető eszköz előállítására
5 173621 6 (4) az eszköz félvezető morzsáját (6) kezelő manipulátorral (7) és gázáramnak a mikrokemencén (2) való átbocsátására csatlakozásokkal (12, 13) van ellátva, továbbá a mikrokemencéhez (2) villamos mérőberendezés (11) van csatlakoztatva. 6. Az 5. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a manipulátornak (7) a félvezető eszköz kontaktusanyagával nem ötvöződő anyagú vége (8) van. 7. Az 5. vagy 6. igénypont szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a mikrokemence (2) egyik fala (10) átlátszó, és a mikrokemencéhez (2) az átlátszó falon (10) keresztül való megfigyelést biztositó mikroszkóp van csatlakoztatva. 5 8. Az 5—7. igénypontok bármelyike szerinti berendezés kiviteli alakja, azzal jellemezve, hogy a villamos mérőberendezéshez (11) a manipulátor (7) vezető anyagú vége (8) és a hővezető anyagú test (4) van csatlakoztatva. 1 db rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági ás Jogi Könyvkiadó igazgatója 790274, OTH, Budapest
