172499. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés fotomaszkok ellenőrzésére kivonásos eljárással
172499 Nemzetközi osztályozás: G 03 F 1100, G 03 H 1 /04 3. ábra
/
172499 Nemzetközi osztályozás: G 03 F 1100, G 03 H 1 /04 3. ábra