172486. lajstromszámú szabadalom • Eljárás félvezető elemek előállítására

I "J 4'I.

N-'fîi/Clko/l <>>/(.;i ■ .>/.<■> ! I o I I _M :\

I ~- /// 1 .- t 19-j ffl

J J70 Zj 1

FIE.15

FIE. /7