171993. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű negatív vagy pozitív munkafilm, elsősorban nyomtatott áramkörök gyártásához

7 171993 8 2. példa A folyékony fotoreziszt bemerítéssel végzett felhordására szolgáló berendezésben vizes lúgoldatban vagy szerves oldószerben előhívható folyékony fotorezisztet viszünk fel egyenletes vékony rétegben poliészter műanyagfólia érdesített felületére, majd alkalmas berendezésben megszárítjuk, a nyomtatott áramkörök gyártásánál szokásos módon. Szükség esetén a rezisztréteget átlátszó poliészter műanyagfóliával borítjuk. Az így előállított, találmány szerinti többrétegű munkafilmet úgy használjuk fel, hogy a karcolással vagy bármely más eljárással készített negatív mesterfilmen keresztül, vákuumkeretes megvilágítóberendezésben, a munkafilm készítéséhez felhasznált fotoreziszt megvilágítási előírásainak megfelelően, ultraibolya fénnyel megvilágítjuk, majd a fotorezisztre vonatkozó kidolgozási előírás szerint a megfelelő nedves eljárással előhívjuk, a szakembe-5 rek számára ismert módon. Szabadalmi igénypont: 10 Többrétegű munkafilm — különösen nyomtatott áramkörök gyártásához — azzal jellemezve, hogy legalább 100C°-ig, hőálló, fényáteresztő műanyag hordozófóliából - célszerűen poliészter fóliából -tapadásközvetítő rétegből ultraibolya fényre érzé-15 kény fotoreziszt rétegből és — adott esetben -áttetsző műanyag védőfóliából — célszerűen poliészter-fóliából áll. 4 A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 784632 - Zrínyi Nyomda