171993. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű negatív vagy pozitív munkafilm, elsősorban nyomtatott áramkörök gyártásához

3 171993 4 pozitív mesterrajzot, illetve mesterfilmet. A mesterfilm készítés további - már említett — módja a karcolásos eljárás, amelynek során az erre a célra gyártott koordináta-karcoló gépen 1 :1 méretarányban készítik el az áramkör negatív képét. A 5 karcolóberendezéssel — az áramkör vezetősávjainak és forrasztószemeinek megfelelő helyeken - a speciális bevonatú műanyagfóliáról nagy pontossággal és vonalélességgel távolítják el a felső színes bevonatréteget. A felső, színes réteggel már nem in fedett helyeken a műanyag alapfólia igen jó átlátszósága jut érvényre. A kétoldalas furatátfémezett nyomtatott áramköri lemezek gyártásának legelterjedtebb módszere a közismert szubsztraktív eljárás és annak az ún. rajzolat-galvanizálási j5 (pattern-plating) változata, amelynél a kifúrt, furatátfémezett lemezek felületére fényérzékeny réteget, ún. fotoreziszt-réteget visznek fel, amit a munkafilmen keresztül világítanak meg. A fotoreziszt lehet pozitív vagy negatív, a benne levő 2 fényérzékeny anyagok tulajdonságaitól függően. A fotoreziszteket folyékony, vagy szilárd állapotban lehet a lemezek felületére felvinni. A fotorezisztek megvilágításához pozitív vagy negatív munkafilmet kell használni a fotoreziszt fotokémiai jellegétől, 25 függően, mert a cél az, hogy a reziszt előhívása után a készítendő vezetéksávok és forrasztószemek helyei maradjanak szabad, fedetlen állapotban. A fotorezisztek legmodernebb csoportját az ún. száraz szilárd fotorezisztek alkotják, amelyek között 3 szerves oldószerekkel és híg, vizes lúgoldatokkal kidolgozható típusokat egyaránt találunk. A kidolgozás módjától függetlenül, valamennyi forgalomban levő szilárd fotoreziszt negatív viselkedésű, azaz az exponált képet átfordítja. Ebből ,5 következik, hogy szilárd fotorezisztek megvilágítását pozitív munkafilmen keresztül kell végezni a cél elérése érdekében. Egyedi, kísérleti és kissorozatú gyártásokhoz a szilárd fotorezisztek - rendkívül egyszerű felhordási 40 módjuk, könnyű kezelhetőségük és megbízhatóságuk miatt - kiválóan alkalmasnak bizonyultak. Az egyedi, kísérleti és kissorozatú gyártások a munkafilmek készítése terén is gyors, egyszerű eljárásokat igényelnek. Ezeket a követelményeket a 45 karcolásos mesterfilm készítés nagyon jól kielégíti, mivel gyors, egyszerű, pontos és olcsó. Hátránya viszont, hogy a karcolással készített mesterfilm — amely egyben a mesterrajz is - a nyomtatott áramköri ábra negatíyja, tehát közvetlenül nem 50 használható fel a szilárd fotorezisztek vagy más negatív rezisztek megvilágításához. Erre a célra a karcolt negatív mesterfilmről hagyományos fényképészeti kontaktmásolási eljárással pozitív munkafilmet kell készíteni, tehát az egyébként egyszerű 55 és kevés egységből álló nyomtatott áramkörgyártó berendezést ki kell egészíteni az ezüst-halogenid alapú fényképészeti filmek kontaktmásolásához szükséges sötétkamrával, vákuumos másolóasztallal, megvilágító berendezéssel és a nedves előhíváshoz, 60 mosáshoz, fixáláshoz szükséges anyagokkal és eszközökkel. A találmány szerinti többrétegű munkafilmet a karcolási eljárással készített negatív mesterfilmen keresztül megvilágítva - speciális fototechnikai 65 berendezések és anyagok alkalmazása nélkül -olyan pozitív munkafilmet állítunk elő, amelyen keresztül közvetlenül lehetséges a negatív fotorezisztek vagy pozitív diazo-filmek hagyományos módon végzett megvilágítása. Ugyanilyen egyszerű módon készíthetünk nagypontosságú munkafilm-másolatokat akkor, ha a találmány szerinti többrétegű munkafilm előállításához pozitív fotorezisztet alkalmazunk. A találmány szerinti többrétegű negatív munkafilmet oly módon állítjuk elő, hogy a nyomtatott áramkörök gyártásánál egyébként is alkalmazott fotoreziszt anyagon és az annak felhordására szolgáló készüléken kívül mindössze valamilyen nem fényérzékeny, fényáteresztő műanyag hordozófóliát használunk fel. A találmány szerinti többrétegű munkafilm célszerűen négy rétegből áll: 1. réteg: fényáteresztő műanyag hordozófólia 2. réteg: az 1. réteg felületén elhelyezkedő tapadásközvetítő réteg, amely lehet magának a hordozófóliának érdesített, felülete vagy - célszerűen — külön felhordott érdesítő réteg 3. réteg: ultraibolya fényre érzékeny fotoreziszt (fotopolimer) réteg 4. réteg: szükség szerint a 3. réteg felületét védő átlátszó műanyag célszerűen poliészter — fólia. A találmány szerinti munkafilm előállítására szolgáló eljárás lényege az, hogy — a fotorezisztre hatástalan spektrumú és erősségű fénnyel megvilágított térben- az egy egységet képező 1. és 2. rétegből álló hordozófóliára a szilárd fotorezisztek rendeltetésszerű felvitelére szolgáló berendezéssel — a fotorezisztek felhordására egyébként ismert módon—, célszerűen egyszerre vagy egymást követően visszük fel a 3. és 4. réteget. Az így előállított többrétegű, ultraibolya fényre érzékeny filmet a továbbiak során pl. negatív mesterfilmen keresztül ultraibolya fénnyel megvilágítjuk a fotoreziszt megvilágítására szolgáló szokványos vákuumkeretes exponáló berendezésben. A megvilágítás és a 4. réteg eltávolítása (lefejtése) után a képet fotoreziszt előhívására szolgáló anyagban és berendezésben előhívjuk és kicserezzük. A rezisztréteget vizes öblítés után megszárítjuk. A folyamat során a nyomtatott áramköri ábra vezeteksayjainak és forrasztási pontjainak mentén, azaz a megvilágított területeken a fotórezisztben fotopolimerizációs folyamat megy végbe, ezáltal oldhatatlanná válik az előhívó oldatban. A megvilágítatlan részeken a fotoreziszt kioldódik és érvényre jut a hordozóként használt műanyagfólia jó fényáteresztő tulajdonsága. A találmány szerinti munkafilm önmagában közvetlenül is felhasználható a nyomtatott áramköri lapok felületére a szokványos módon már felvitt fotoreziszt exponálására, továbbá a találmány szerinti munkafilmre készített újabb pozitív vagy negatív másolatok előállítására, valamint pozitív diazo érzékenyítésu munkafilmek is készíthetők 2