171455. lajstromszámú szabadalom • Berendezés helyi elektrolitikus bevonásra
MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1972. VII. 05. (IA-662) Szovjetunió-beli elsőbbsége: 1971. VII. 05. (1670568, 1670569) Közzététel napja: 1973. IX. 27. Megjelent: 1978. VII. 31. 171455 Nemzetközi osztályozás: C 2iX 5/24, 5/68 Ryaboi Mikhail Yakovlevich mérnök, Isakov Anatoly Filippovich mérnök, Kolomeichuk Alexandr Ivanovicfi mérnök, Monakhova Svetlana Petrovna mérnök, Rudakova Maria Alexandrovna mérnök, Tsiopko Vasily Vasilievich mérnök, Moszkva, Amilchakov Nikolai Pavlovich mérnök, Zelenograd, Malin Boris Vladimirovich mérnök, Baidalinov Ilya Vladimirovich mérnök, Ryabov Anatoly Leonidovich mérnök, Moszkva, Szovjetunió Berendezés helyi elektrolitikus bevonásra 1 A találmány tárgya berendezés helyi elektrolitikus bevonásra, elsősorban félvezető eszközök, különösen integrált áramkörök előállításánál. Az integrált áramkörök gyártása során a kristályt az áramkör többi részével össze kell hegeszteni mégpedig egy áttört felületű négyszögletes keret aranyozott felületén. Ez a felület kb. 40-szer nagyobb, mint amennyi a kristály ráhegesztéséhez szükséges. Általánosan ismertek olyan berendezések elektrolitikus bevonásra, amelyek elektrolittel töltött főtartályt tartalmaznak, amelyből az elektrolitot pl. egy szivattyú segítségével resziverbe továbbítják a stabilizálás (konstans szint biztosítása) és a szűrés érdekében. Ezek a berendezések elektrolitikus bevonáshoz egy munkavégző szervet is tartalmaznak. Az említett berendezések nem biztosítják a felületek helyi bevonását. Célunk a találmánnyal a technika állásából adódó hátrányok kiküszöbölése. A találmány feladata olyan berendezés megvalósítása elektrolitikus bevonásra, amely lehetővé teszi, hogy a drága fémekből álló réteget helyileg, azaz csak a szükséges helyeken vigyük fel. A találmány szerinti berendezés az elektrolit hozzávezetésére és elvezetésére szolgáló csatornákkal rendelkezik. A hozzávezető csatorna a munkadarab egyik oldalán, az elvezető csatorna pedig a másik oldalán van kialakítva. A munkadarab mindkét oldalán hidrofób tulajdonságú dielektromos anyagból készült tömítések vannak elhelyezve, amelyek nyílásai egybeesnek a hozzávezető és az elvezető csatornák nyílásaival. Célszerűen a hozzá- és elvezető csatorna a többrekeszes kazettában egy-5 mással össze van kötve. Az elvezető csatorna egy kiegyenlítő fúvókával van ellátva. Egymással párhuzamosan több hozzá- és elvezető csatorna is kialakítható. Az itengrált áramkörök keretének teljes bevo-10 násánál ezer kerethez átlagosan 80 g arany szükséges. Az iparban több millió ilyen félvezető eszközt állítanak elő. Az általunk kifejlesztett berendezés lehetővé teszi, hogy ezer darab eszköz gyártásához szükséges' 15 arany mennyiségét 6g-ra csökkentsük. Ennek következtében az aranymegtakarítás 10 millió eszköz előállításánál a következőképpen számítható: 20 (80-6) • 107 103 = 74- 104 g = 740 kg arany. A gyártás tervezett növekedése esetén a megta-25 karítás sokszorta nagyobb lesz. A találmány lényegének jobb megértéséhez az elektrolitikus bevonásra szolgáló berendezést és ennek működését kiviteli példa kapcsán, rajz alapján 30 ismertetjük részletesebben. A rajzon az 171455
