170049. lajstromszámú szabadalom • Eljárás és berendezés elnyújtott formájú, hengeres kvarctárgyak folytonossági hibáinak kiküszöbölésére

5 170049 6 golócsatornán át adagolják az 1 kályhába. A megmerevedő kvarc a 4 gyűrű alakú nyíláson folyik át, amely kialakítja az 5 kvarccsövet. A 7 tartályban argongáz van. Az argont a 8 szelepen és a cső alakú 9 gázhozzávezetésen át az 5 1 kályhához vezetik. Az argon 10 csatlakozódarabon az 5 kvarccső belsejében áramlik. Az 1 kályha alatt kis távolságban az elektromos 11 tekercs helyezkedik el, amely az 5 kvarccsövet körülveszi. Ezt a tekercset a 12 nagyfrekvenciás 10 generátorból táplálják, amely a tápfeszültség 13 és 14 bemenőkapcsaihoz csatlakozik. A 12 nagyfrekvenciás generátor szabályozható. Ezzel a készülékkel karcolásmentes, tiszta kvarc- 15 csövek a következő módon állíthatók elő, a kvarc a 4 gyűrű alakú nyíláson át folyik ki az 1 kályhából, és az ott keletkező 5 kvarccső szabályozható sebességgel halad a 11 tekercsen keresztül. Mivel all tekercs nagyfrekvenciás feszült- 20 séget kap, és a 11 tekercs terébe jutó argongázban egy részletesebben nem ábrázolt gyújtóberendezés segítségével plazmakisülés indul meg, all tekercs magasságában az 5 kvarccső belseje felhevül. Az 5 cső falában levő esetleges gázzárványok eltűnnek, 25 mert szabad utat találnak a csőüregbe. Azon kívül ez a hevítés azt is eredményezi, hogy a kvarcban az esetleges szennyeződések oly módon végig tolódnak, hogy a kvarccső utoljára hevített szakaszában koncentrálódnak. Miután ily módon már 30 olyan hosszú kvarccsövet húztak, hogy a szennyeződések koncentrációja az utoljára húzott szakaszban nem kívánt mértékűvé válik, a 12 nagyfrekvenciás generátort annyira leszabályozzák, hogy a plazmakisülés intenzitása a 11 tekercsben erősen 35 lecsökken. Ekkor egy további csőszakaszt húznak olyan hosszúságban, ami legalább a 11 tekercs magasságával egyenlő. Ezután a 12 nagyfrekvenciás generátort ismét a kezdeti intenzitásra állítják, és a húzást folytatják. Az eljárás egy másik fázisában az 40 5 kvarccsőnek azt a szakaszát, amelyet a plazmaégő csökkentett intenzitása és ezzel a 11 tekercs csökkentett gerjesztése mellett húztak, a csőtől elkülönítik és megsemmisítik, mivel ez az a szakasz, amelyben az 5 kvarccső többi részének a 45 szennyeződése feldúsult. Ennek a készüléknek tehát az az előnye, hogy vele gyakorlatilag karcolásmentes és nagyon tiszta kvarc nyerhető. A 2. ábra egy viszonylag vékony, pl. három 50 mm-es belső átmérőjó 30 kvarccsövet ábrázol. Ez a cső később pl. szívócsonkként szerepel, amellyel az előállítás közben izzólámpát vagy kisülési csövet légtelenítenek, majd gázzal töltenek. A 31 elektromos tekercs a 32 nagyfrekvenciás generátorhoz 55 csatlakozik. A 33 hűtőhenger folyadékkal van feltöltve. A 34 és 35 gázhozzávezetéseken keresztül jut a kvarccsőhöz, míg a 30 kvarccső felső végének közelében a gázt a nyilak irányába a 36 és 37 elszívócsövek szívják el. A gázban, amely a 34 és 60 35 gázhozzávezetéseken keresztül jut a 30 kvarccső és a 33 hűtőhenger közé, a 31 tekercs nagyfrekvenciás gerjesztése következtében plazmakisülés keletkezik, és hő fejlődik. A 30 kvarccső a tekercs tengelye mentén mozog gyakorlatilag a saját hossz- 65 tengelyével párhuzamosan, miközben a külső felülete felhevül, úgyhogy azon az esetleges barázdák elsimulnak. Ennek az eljárásnak az az előnye, hogy ha a csövet szívócsonkként használják fel, a csonk és a szivattyú mechanizmus között gyakorlatilag semmiféle tömítetlenség nem lép fel. Szabadalmi igénypontok: 1. Eljárás elnyújtott formájú, hengeres kvarctárgyak folytonossági hibáinak hőkezelés segítségével történő kiküszöbölésére, amelynek során a kvarctárgyat valamely koncentrált hőforráshoz képest a kvarctárgy hossztengelyével gyakorlatilag párhuzamos irányba mozgatjuk, és a hőforrás részére szükséges gázt legalább a hőforrás magasságában a tárgy közelébe juttatjuk, a tárgyat helyileg a lágyulási hőmérséklete fölé hevítjük, azzal jellemezve, hogy a kvarctárgy (5) relatív mozgatását az azt körülvevő, és a plazmaégőként kialakított hőforráshoz tartozó elektromos tekercshez (11) képest végezzük. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, kvarccső előállításával kapcsolatban, azzal jellemezve, hogy a gázt a kvarccső (5) belsejében áramoltatjuk, miközben a plazmakisülést a kvarccsőben hozzuk létre. 3. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja 5 mm-nél kisebb belső átmérőjű kvarccső előállításával kapcsolatban, azzal jellemezve, hogy a gázt legalább a kvarccső (30) és az elektromos tekercs (31) közé vezetjük. 4. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja az előállítandó hosszúságnál nagyobb hosszúságú kvarccső előállításával kapcsolatban, azzal jellemezve, hogy a kvarccsőnek (5) a plazmaégő üzemi állapotában az elektromos tekercsen (11) utolsóként áthaladó részét utólag eltávolítjuk. 5. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, kvarccsőhúzási eljárással kapcsolatban, azzal jellemezve, hogy a plazmakisülés részére a gázt kvarcömledéket tartalmazó kályhában (1) vezetjük a kvarccsőhöz (5), miközben a kvarccsövet (5) a kályhától (1) közvetlenül a plazmaégőhöz továbbítjuk. 6. Az 5. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a plazmaégőt a kvarccső (5) egy első időtartamú szakaszának húzása után kisebb hőfejlesztésre állítjuk, majd a plazmaégőnek kisebb hőfejlesztése mellett egy második időtartamú húzási folyamatot végzünk, ezután a plazmaégőt ismét a nagyobb hőfejlesztésre állatjuk, és a húzási folyamatot folytatjuk, ahol a második időtartamú húzási folyamat az első időtartamú húzási folyamatnál rövidebb. 7. A 6. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a húzási folyamatot folytatjuk, majd a plazmaégő kisebb hőfejlesztése mellett húzott kvarccsőszakaszt a kvarccső (5) többi darabjaitól leválasztjuk. 3