169943. lajstromszámú szabadalom • Többrétegű elektronikai elem és eljárás az elem rétegei közötti átvezetőréteg kialakítására

MAGYAR NÉPKÖZTÁRSASÁG ORSZÁGOS TALÁLMÁNYI HIVATAL SZABADALMI LEÍRÁS Bejelentés napja: 1974. VI. 19. (UA-206) Közzététel napja: 1976. IX. 28. Megjelent: 1977.X. 31. 169943 Nemzetközi osztályozás: H05K 1/04, 3/18 Feltalálók: Kitaev Georgy Avenirovich kohómérnök, Ploskikh Vadim Alexandrovich vegyészmérnök, Szverdlovszk, Minkov Viktor Alexeevich rádiómirnök, Kurbakov Viktor Geotgievich vegyészmérnök, Moszkva, Zlatkovskaya Tatyana Nikolaevna mérnök, Chernyshova Evangelina Mikhailovna fizikus, Fofanov Gennady Mikhailovich mérnök, Brunov Viktor Timofeevich mérnök, Szverdlovszk, Kotov Evgeny Pavlovich mérnök, Moszkva, Szovjetunió Tulajdonos: Uralsky Politekhnichesky Institut imeni S. M. Kiróva, Szverdlovszk, Szovjetunió Többrétegű elektronikai elem és eljárás az elem rétegei közötti átvezetőréteg kialakítására 1 A találmány tárgya elektronikai elem elsősorban többrétegű vezetőlapok, nagyméretű integrált áramkörök alaplapjai és egyéb hasonló többrétegű elemek, valamint eljárás ilyen többrétegű elemek rétegeit összekötő átvezetőrétegek előállítására. 5 Ismeretesek olyan többrétegű elemek, amelyek váltakozva elhelyezett fémrétegekből és dielektromos rétegekből állnak. A fémrétegeket a többrétegű elem homloklapjára felvitt átvezető-fémrété- 10 gekkel kötik össze. Ezeket az átvezető-fémrétegeket rendszerint vékonyréteg-technikával viszik fel a többrétegű elemeket alkotó fémrétegek, és dielektromos rétegek 15 homlokfelületeire. A vékonyrétegek vastagsága és villamos vezetőképessége a fémrétegekkel érintkező helyeken azonban csak közelítőleg egyezik meg a fémrétegek vastagságával, illetve villamos vezetőképességével. Az átvezető fémrétegek a többrétegű 20 elemek fémrétegeitől általában közbülső réteggel, például oxidréteggel, vegyi úton felvitt vékonyréteggel, vagy villamosan vezető lakkokkal vannak elválasztva. Az ilyen közbülső rétegek villamos ellenállása nagyobb, mint a fémrétegeket alkotó 25 fémek villamos ellenállása. Ezáltal viszont a többrétegű elem fémrétegei közötti villamos ellenállás értéke növekszik, és ugyanakkor az átvezető-fémrétegekkel ellátott egész többrétegű elem mechanikai szilárdsága csökken. 30 A jelenleg ismert eljárások során az átvezető-fémrétegek előállítása csak közbülső réteg alkalmazásával oldható meg. Ismert olyan eljárás fémrétegekből és dielektromos rétegekből álló többrétegű elemek rétegeit összekötő átvezető-fémréteg előállítására, ahol a fémrétegek és dielektromos rétegek összekapcsolandó felületein villamosan vezető segéd-vékonyréteget alakítanak ki, majd erre a segéd-vékonyrétegre elektrolitikus úton fém-vékonyréteget visznek fel. A fenti eljárás lényege az, hogy a fémrétegek és dielektromos rétegek fémmel beborítandó felületeire elektromos áram alkalmazása nélkül, redukáló közeget tartalmazó oldatból átmeneti fémréteget hordunk fel, és erre a rétegre visszük elektrolitikus úton fel a fém-vékonyréteget. Ehhez általában réz segéd-vékonyréteg alkalmazható, amely komplex rézsók redukálóközegként formaiint tartalmazó alkalikus oldataiból nyerhető. Bizonyos esetekben alkalmaznak nikkelből vagy kobaltból előállított foszfortartalmú segéd-vékonyrétegeket. Ezeket nikkel vagy kobalt alkalikus oldataiból oly módon állítják elő, hogy a fémet az oldatból hipofoszfit segítségével kicsapatják. Még ritkábban alkalmaznak ezüstből vagy palládiumból készített segéd-vékonyrét egeket is, amelyeket az említett fémek sóinak redukáló közeget tartalmazó oldataiból történő kicsapatással nyernek. 169943