169775. lajstromszámú szabadalom • Eljárás fémellenállásréteg szubsztrátumon való előállítására

5 169775 6 anyaga szerint kell beállítani. Erre a következő táblázat mutat be példákat: Kiindulási anyag Állapot Hevítés hőfoka fémkarbonil gáz alakban oldatban 200 C° 200 C° acetilacetonát gáz alakban oldatban 300 C° 300 C° nemesfém-rezinát* rászárított film 800 C° korom/lakk alapú* rászárított film, rétegelő keveréklakk pl. fenolgyanta 160 C° A kiindulási anyag gáz alakban az 1. és 2. ábrán bemutatott 4 és 8 szubsztrátum körül áramlik. *Ennél az eljárásnál a réteg be nem égetett részét a művelet után ismét leoldjuk. Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás valamely szúbsztrátumon ellenállásrétegként szolgáló fémezés előállítására, amelynek során a szubsztrátumot a leválasztandó fém legalább egy illó vegyületét és hordozó gázt tartalmazó gázkeverékkel áramoltatjuk körül, illetve az előírt oldatból rászárított vékony réteggel látjuk el, azzal jellemezve, hogy a szubsztrátum (4, 8) fémmel bevonandó tartományát lézersugárral (2) vagy elektronsugárral (6) annyira felhevítjük, hogy a lézersugár, illetve elektronsugár által okozott és az említett tartományt letapogató hevítési folt hőmérséklete a fémezőkeverék bomlási hőmérsékletét meghaladja. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a szúbsztrátumon áthaladó hullámhosszú lézerfényt választunk, s így a fémleválasztást csak egy már meglevő vagy éppen kialakult fémrétegen folytatjuk, amely fémréteget az eljárás kezdetén a sugárzási energia megnövelésével állítunk elő. 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy egy cső alakú szubsztrátum belső oldalán két egymással szemben levő helyet duplaspirál alakban egyszerre fémezünk. 4. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy egy cső alakú szubsztrátumba a bevonat előállítása alatt egy tüskét illesztünk, amellyel a fémezést előidéző sugarat reflektáltatjuk. 5. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy gázkeveréknek fém-karbonilek, -acetilacetonátok, -ciklopentadiének, -ciklopentadienilek vagy -alkilének 5 szerves vagy szervetlen hordozógázzal való keverékét alkalmazzuk. 6. Az 1-4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy oldat-keveréknek fém-karbonileket, acetilacetonátokat, 10 nemesfémrezinátokat vagy korom/lakk alapú rétegelő keveréklakkokat alkalmazunk. 7. A 6. igénypont szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az oldatkeverékből való leválasztást egy filmrétegnek a bomlási hőmér-15 sékletnél alacsonyabb hőmérsékleten való rászárítása, mint közbenső lépés után hajtjuk végre. 8. Az 1-7. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a hevítési folt hőmérsékletét a bomlási hőmérséklet 20 fölött legfeljebb 50 °C-on tartjuk. 9. A 6-8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a fémkarbonilokat 200 C°-nál magasabb hevítési-helyhőmérsékleten bontjuk el. 25 10. A 6-8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az acetilacetonátokat 300 C°-nál magasabb hőmérsékletű hevítési foltban bontjuk el. 11. A 6-8. igénypontok bármelyike szerinti eljá-30 rás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a nemesfémrezinátokat 800 C°-nál magasabb hőmérsékletű hevítési foltban égetjük be. 12. A 6-8. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy a 35 keverékréteglakkot 160 C°-nál magasabb hőmérsékletű hevítési foltban égetjük be. 13. Az 1-12. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy lézerként egy 1,06 ^ hullámhosszúságú YAG-lézert al-40 kalmazunk. 14. Az 1-12. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy lézerként 10,6 [x hullámhosszúságú C02-lézert alkalmazunk. 45 15. Az 1-14. igénypontok bármelyike szerinti eljárás foganatosítási módja, azzal jellemezve, hogy az ellenálláspálya kialakítása után a szubsztrátumot lézer segítségével önálló darabokra szétválasztjuk, miközben a szúbsztrátumon keresztül erősen féme-50 ző, például nikkelkarbonil tartalmú, gázt vagy oldat-keveréket vezetünk, és a szétválasztási hely környezetében keletkező hővel járulékos fémbevonatot létesítünk. 1 rajz, 2. ábra A kiadáséit felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 77.4919.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató 3