169774. lajstromszámú szabadalom • Eljárás villamos ellenállások előállítására
169774 Szabadalmi igénypontok 1. Eljárás villamos ellenállás előállítására egy szervetlen, szigetelő tulajdonságú és szilíciumtartalmú anyagból álló hordozóra, különösen kerámiatestre kicsapatott, elemi szénből álló vezető réteg alakjában, mely réteg mindkét végén villamos csatlakozás van kiképezve, melynek során először a hordozó felületét megtisztítjuk, maratjuk és ezt követően a felületet magas hőfokon elemi szén pirolitikus kicsapatására alkalmas reakciógáz hatásának kitéve, azon szilárdan tapadó, elemi szénből álló réteget alakítunk ki, azzal jellemezve, hogy a kezeletlen hordozó felületét a szénleválasztás előtt, vagy annak kezdetén folyékony, fluortartalmú szénvegyület pirolitikus bomlástermékeivel szilíciumtetrafluorid képződése közben maratjuk, ezután közvetlenül a felhevített hordozó felületére elemi szenet csapatunk ki anélkül, hogy a maratás és a szén kicsapatása között a hordozó szennyező közeggel, különösen levegővel érintkezne. 2. Az 1. igénypont szerinti eljárás foganatositási módja, azzal jellemezve, hogy flourvegyületként perfluorhexánt (C6 F 14 ), perfluorheptánt (C 6 H 18 ) vagy fluorozott rövidszénláncú szénhidrogént, így széntetrafluoridot (CF4 ) használunk, előnyösen egy hordozógázzal alkotott keverék alakjában. 5 3. Az 1. vagy 2. igénypont szerinti eljárás foganatositási módja, azzal jellemezve, hogy szénréteg kicsapatásához C6 F 14 alkalmazása mellett a hordozó hőmérsékletét 900—1000 C°-ra állítjuk be. 4. Az 1—3. igénypontok bármelyike szerinti eljárás 10 foganatositási módja, azzal jellemezve, hogy a hőbontásos maratás alatt a reakciótérbe máris szénhidrogént vezetve, a hordozó kellően aktivált helyein további marató behatás nélkül szénbevonatot létesítünk. 5. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás 15 foganatositási módja, azzal jellemezve, hogy a maratási művelet lefolyása során gázhalmazállapotú fluorozott szénvegyületet használunk egy folyékony szénbevonó közeg hordozógázaként. 6. Az 1—4. igénypontok bármelyike szerinti eljárás 20 foganatositási módja, azzal jellemezve, hogy egy gázhalmazállapotú szénhidrogént használunk a folyékony fluorozott szénvegyület hordozógázaként. 1 db-rajz A kiadásért felel: a Közgazdasági és Jogi Könyvkiadó igazgatója 77.4919.66-42 Alföldi Nyomda, Debrecen — Felelős vezető: Benkő István igazgató
